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北京市教育委员会科技发展计划(KM200611232011)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：腾功清齐臣杰王宏伟江世宇更多>>
相关机构：北京信息科技大学更多>>
发文基金：北京市教育委员会科技发展计划更多>>
相关领域：航空宇航科学技术理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇航空宇航科学...
  • 1篇理学

主题

  • 1篇陀螺
  • 1篇微机械
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇敏感元件
  • 1篇硅微机械
  • 1篇硅微机械陀螺
  • 1篇摆动式

机构

  • 1篇北京信息科技...

作者

  • 1篇江世宇
  • 1篇王宏伟
  • 1篇齐臣杰
  • 1篇腾功清

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
旋转摆动式硅微机械陀螺敏感头的研制
2007年
介绍旋转摆动式硅微机械陀螺电容敏感的原理,给出了陀螺振动单元的结构尺寸,计算了被测角速度和敏感电容的关系,进而得到被测角速度和输出电压的关系.利用微机械加工方法加工得到了硅振动单元,加工硅振动单元的工艺特点是双面多次光刻、腐蚀.介绍了制作旋转摆动式硅微机械陀螺敏感元件的工艺并对制作的敏感元件进行测试,测试结果表明"三明治"敏感元件四个敏感电容较计算得到的电容偏小.
王宏伟腾功清齐臣杰江世宇
关键词：陀螺微机械敏感元件
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