湖北省科技攻关计划(2002AA105A02)
- 作品数：30 被引量：107H指数：6
- 相关作者：汪建华王升高满卫东王传新马志斌更多>>
- 相关机构：武汉工程大学武汉化工学院中国科学院等离子体物理研究所更多>>
- 发文基金：湖北省科技攻关计划湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目武汉市青年科技晨光计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术化学工程金属学及工艺更多>>
- 微波CVD法低温制备纳米金刚石薄膜被引量：6
- 2006年
- 利用甲醇和氢气的混合气体，用微波等离子体CVD方法在480℃下成功地在硅片表面制备出纳米金刚石薄膜，本文研究了甲醇浓度和沉积温度对金刚石膜形貌的影响．通过Raman光谱、原子力显微镜及扫描隧道显微镜对样品的晶粒尺寸及质量进行了表征．研究结果表明：通过提高甲醇浓度和降低沉积温度可以在直径为50mm的硅片表面沉积高质量的纳米金刚石薄膜，晶粒尺寸大约为10～20nm，并对低温下沉积高质量的纳米金刚石薄膜的机理进行了讨论．
- 满卫东汪建华王传新马志斌王升高熊礼威
- 关键词：纳米金刚石微波化学气相沉积甲醇
- 脉冲电弧放电电离甲醇溶液制备碳膜的研究被引量：4
- 2003年
- 利用脉冲电弧放电电离甲醇溶液在常压下研究了含金刚石成分的碳膜的制备。用扫描电子显微镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FT-IR)、激光Raman光谱和X射线衍射(XRD)研究了在确定的基片温度下甲醇浓度以及放电电压等沉积条件对薄膜的形貌和金刚石的合成的影响。研究结果表明:在放电电压低于2kV时,薄膜主要由无序石墨和无定形碳组成。提高放电电压有助于金刚石的合成,在高的放电电压下,降低甲醇溶液浓度有利于提高碳膜中金刚石成分的含量。
- 马志斌万军张文文汪建华王升高
- 关键词：电离碳膜金刚石薄膜石墨
- 硬质合金基体上钛过渡层碳化条件对金刚石薄膜附着力的影响被引量：3
- 2004年
- 以WC 6 %Co为基体 ,采用磁控溅射法 ,在酸蚀后进行氢等离子体脱碳试样上制备Ti过渡层 ,然后碳化过渡层为TiC。在电子辅助热丝化学气相沉积装置中制备金刚石薄膜。研究碳化条件对金刚石薄膜与基体附着力的影响。结果表明 ,在 70 0℃左右的低温碳化 ,TiC结构致密 ,而在 85 0℃左右的高温碳化 ,TiC呈疏松的多孔组织 ,在CH4 Ar等离子体中碳化则 85 0℃左右仍能获得致密的TiC层。
- 王传新汪建华满卫东马志斌王升高傅朝坤李克林康志成
- 关键词：脱碳磁控溅射法金刚石薄膜氢等离子体过渡层
- 氧等离子体处理硬质合金表面对金刚石薄膜附着性能的影响
- 2008年
- 本文采用微波氧等离子体刻蚀硬质合金基体表面,再利用热的浓碱溶液清除硬质合金表面所形成的氧化物,通过扫描电镜(SEM)观察了试样表面情况,并通过X射线能谱(EDAX)分析了硬质合金表面各成分变化情况。经过预处理的试样采用热丝化学气相沉积(HFCVD)金刚石薄膜,对所沉积出的金刚石薄膜采用SEM观察及压痕测试,发现经过氧等离子体处理的金刚石刀具较两步酸蚀法处理过的金刚石薄膜涂层,其附着性能有较大提高。
- 邢文娟汪建华王传新皮华滨余学超
- 关键词：金刚石薄膜硬质合金刀具
- 激光切割CVD金刚石厚膜的工艺研究被引量：2
- 2007年
- 本文利用Nd:YAG激光器对0.4mm厚的CVD金刚石膜进行切割,用扫描电子显微镜(SEM)研究了激光脉冲能量、脉冲宽度和脉冲频率等工艺参数对金刚石厚膜切割的影响。研究结果表明,在脉冲电流高于200A和减小脉冲电流至150A、脉冲宽度为2ms时能一次性切透金刚石厚膜但切割断面存在许多微裂纹和缺陷。增大脉冲频率有利于提高切割断面的平整度;采用二次切割比一次切割可得到更为平整的切割断面,断面粗糙度Ra可达到1μm。
- 熊军汪建华王传新严朝辉王亚
- 关键词：激光
- 化学气相沉积光学级金刚石薄膜的研究进展被引量：7
- 2006年
- 化学气相沉积(CVD)金刚石薄膜优异的光学性能在近几年得到了广泛的重视,关于它的研究也在近几年取得了较大的突破。综述了CVD金刚石薄膜的光学性能,着重从成核、生长和后期处理三个方面对光学级CVD金刚石薄膜的制备进行了讨论,并对今后的研究作了展望。
- 熊礼威汪建华满卫东曹菊琴
- 关键词：金刚石薄膜化学气相沉积光学性能成核薄膜生长
- 金刚石薄膜生长速度研究被引量：4
- 2005年
- 在电子辅助热丝CVD中,研究刀具预处理对金刚石薄膜生长速度的影响。在保持生长条件不变的前提下,经酸腐蚀处理的刀具的侧、背面镀铜能使金刚石薄膜的生长速度从没有镀铜时的4μm/h增加到镀铜后的10.6μm/h。镀铜处理提高了刀具的电导率,使得热丝发射的电子在偏压电场的作用下,在刀具表面附近聚集,加速氢气和丙酮的裂解,从而提高金刚石薄膜生长速度。SEM和Raman测试结果表明,高速生长的金刚石薄膜仍然具有很高质量。
- 王传新汪建华满卫东马志斌王升高傅朝坤李克林康志成
- 关键词：金刚石薄膜镀铜硬质合金
- MPECVD法在抛光石英玻璃上沉积金刚石薄膜被引量：4
- 2006年
- 采用微波等离子体增强化学气相沉积方法（MPECVD），利用氢气和甲烷混合气体，在抛光石英基片上低温沉积出金刚石薄膜。用扫描电子显微镜（SEM）、激光拉曼光谱仪（Raman）和傅立叶红外光谱仪（FTIR）对薄膜的表面形貌、颗粒尺寸、纯度和光学透过性能进行了表征．．通过SEM发现，得到的金刚石薄膜的颗粒尺寸为0．2～0．3μm，形核密度超过10^9cm^-2，从薄膜形貌可以发现，较高温度有于提高薄膜的生长速率和颗粒尺寸的均匀性。通过拉曼光谱和红外透射光谱分析发现，较高温度下沉积的薄膜具有较高的金刚石相含量，薄膜的光学透过性能也相对较好。
- 熊礼威汪建华满卫东
- 关键词：化学气相沉积金刚石薄膜石英玻璃微波
- 等离子体表面改性对牦牛毛表面性能的影响被引量：1
- 2007年
- 研究了低温等离子体表面改性处理牦牛毛对其表面性能的影响.研究结果表明,低温等离子体表面改性处理能够刻蚀牦牛毛纤维表面的鳞片,而且空气等离子体的刻蚀效果优于氧等离子体的刻蚀效果;等离子体处理不会改变牦牛毛纤维的物理性能即拉伸强度.
- 余军杰汪建华王升高
- 关键词：低温等离子体牦牛毛表面改性刻蚀
- 热丝CVD法制备大面积金刚石厚膜被引量：2
- 2008年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)设备与工艺,在直径为90 mm的钨基体上,以丙酮为碳源,制备了(111)取向的大面积金刚石厚膜,厚膜平均厚度达到1.2 mm.用X-ray衍射、扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对金刚石厚膜的织构、形貌和成分进行了分析,结果表明所制备的金刚石厚膜质量很好且有较高纯度.
- 熊军汪建华王传新邢文娟谢鹏皮华滨吴斌
- 关键词：热丝化学气相沉积纯度
