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国家教育部博士点基金(200800030007)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：陈学坤王晓峰尹亚江尤政更多>>
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相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电容
  • 1篇电容器
  • 1篇氧化钌
  • 1篇微电极阵列
  • 1篇MEMS
  • 1篇超级电容
  • 1篇超级电容器

机构

  • 1篇清华大学

作者

  • 1篇尤政
  • 1篇尹亚江
  • 1篇王晓峰
  • 1篇陈学坤

传媒

  • 1篇纳米技术与精...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅基MEMS三维微电极阵列的超电容特性被引量：3
2013年
三维微电极是一种具有空间结构优势、电化学性能比二维微电极更加优越的微型储能结构.本文提出一种基于光刻、感应耦合等离子体刻蚀和溅射等MEMS工艺加工三维结构硅基微电极阵列的新方法.采用电化学阴极沉积工艺在微电极表面制备了纳米氧化钌功能薄膜.借助扫描电子显微镜、循环伏安测试和电化学交流阻抗谱测试等手段对三维微电极的表面形貌和电化学性能进行了表征,系统研究了阴极沉积电流密度、电沉积时间以及硅基微结构表面"微草效应"对三维微电极超电容特性的影响.所制备三维微电极的比电容达到1.57 F/cm2,与平面电极比电容0.42 F/cm2相比明显提高,而电化学阻抗比二维平面微电极显著降低.相关实验数据表明基于MEMS技术加工的三维结构微电极具有优于平面电极的电化学电容储能特性.
王晓峰陈学坤尹亚江尤政
关键词：MEMS氧化钌超级电容器
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