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湖北省教育厅资助项目(Q20081505)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：余学超谢鹏汪建华孙蕾满卫东更多>>
相关机构：湖北省等离子体化学与新材料重点实验室武汉工程大学江汉大学更多>>
发文基金：湖北省高等学校优秀中青年科技创新团队计划项目国家自然科学基金湖北省教育厅资助项目更多>>
相关领域：电子电信更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇刻蚀
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 1篇江汉大学
  • 1篇武汉工程大学
  • 1篇湖北省等离子...

作者

  • 1篇吴宇琼
  • 1篇满卫东
  • 1篇孙蕾
  • 1篇汪建华
  • 1篇谢鹏
  • 1篇余学超

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
CVD金刚石膜表面图形化加工技术的研究
2008年
首先用CVD法制备金刚石厚膜,接着在其表面利用氢等离子体辅助刻蚀,然后在铁薄膜的催石墨化作用下,对金刚石膜的表面进行了选择性的刻蚀。结果表明,在氢等离子体的辅助作用下,铁薄膜可以持续对CVD金刚石膜进行刻蚀;如果控制铁薄膜的形状和厚度,可以实现对CVD金刚石膜表面较精确的图形化刻蚀。该技术有望成为一种新的刻蚀金刚石膜的方法。
满卫东孙蕾吴宇琼谢鹏余学超汪建华
关键词：金刚石膜刻蚀等离子体
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共1页<1>
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