广东省科技计划工业攻关项目(2005B10201027)
- 作品数：4 被引量：42H指数：3
- 相关作者：周玉梅袁慧张凤林王成勇何聪华更多>>
- 相关机构：广东工业大学华南理工大学更多>>
- 发文基金：广东省科技计划工业攻关项目国家自然科学基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺冶金工程更多>>
- 固着磨料多线锯研究进展被引量：4
- 2007年
- 随着半导体工业的高速发展以及太阳能光电池产业的突起,对单晶以及多晶硅材料的需求不断增加。精密切割工具不仅要满足切割的质量,还要保证现代化生产的高效率。采用传统内圆锯片切割以及游离磨料多线锯切割逐渐显示出各种不足。而采用固着磨料多线锯切割是快速发展起来的一种精密切割技术。该文综述了固着磨料多线锯的锯丝制造方法,总结了固着磨料多线锯加工硬脆材料的锯切工艺,介绍了目前使用较多的多线锯切割机床,并展望了提高固着磨料多线锯锯丝寿命的可能途径。
- 曾明周玉梅郭长文
- 关键词：金刚石工具硅片
- 硅片精密切割多线锯研究进展被引量：29
- 2006年
- 随着半导体行业的发展,尤其是太阳能电池对大直径硅片的需求不断增加,对硅片的切割精度要求越来越高。传统的外圆和内圆切割已经不能满足现有硅片大尺寸、小切缝、高质量和生产效率的要求。本文对大直径硅片精密切割中最常使用的多线锯切割进行介绍,对游离磨料多线锯的切割机理、浆料特性、切割工艺和固着磨料多线锯锯丝制造方法、切割工艺等方面的研究现状进行了综述。
- 张凤林袁慧周玉梅王成勇
- 关键词：硅片
- 精密金刚石砂轮的制造、修整及其磨削机理研究进展被引量：7
- 2008年
- 精密金刚石砂轮被广泛应用于各种硬脆性材料,如石材、玻璃、陶瓷、磁性材料、半导体材料等各种晶体材料的精密加工。精密金刚石砂轮的制造及其加工各种硬脆材料的磨削机理受到广泛的关注。文章综述了精密金刚石砂轮的制造、修整和磨削机理的研究状况。
- 何聪华袁慧
- 关键词：修整
- 钎焊金刚石取孔钻的制备及其钻削性能研究被引量：2
- 2008年
- 由于金刚石与钎料合金之间高的结合强度以及高的金刚石出刃,钎焊金刚石工具比电镀和烧结金刚石工具拥有更优异的加工性能。使用钎焊法分别制备了单层和多层金刚石取孔钻,通过对硅酸盐玻璃的钻孔实验,对比了单层金刚石取孔钻和多层金刚石取孔钻的使用寿命及加工效率。结果表明:钎焊多层金刚石取孔钻的寿命是单层取孔钻的3倍,但其加工效率比单层取孔钻略低。通过扫描电镜(SEM)对两种取孔钻失效后的表面微观形貌进行观察,发现金刚石与钎料之间具有很高的结合强度,钎焊多层金刚石取孔钻在加工过程中能够实现金刚石的连续出刃。
- 杨志峰黄建行周玉梅张凤林
- 关键词：钎焊金刚石钻削
