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国家高技术研究发展计划(2008AA042201)

作品数:17 被引量:14H指数:3
相关作者:刘晓为车录锋尹亮郝一龙陈伟平更多>>
相关机构:哈尔滨工业大学中国科学院中国科学院研究生院更多>>
发文基金:国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域:自动化与计算机技术电子电信机械工程更多>>

文献类型

  • 17篇期刊文章
  • 3篇会议论文

领域

  • 9篇自动化与计算...
  • 6篇电子电信
  • 4篇机械工程
  • 1篇医药卫生

主题

  • 8篇加速度
  • 8篇加速度计
  • 4篇电容式
  • 3篇自检测
  • 3篇微加速度计
  • 3篇闭环
  • 3篇SIGMA-...
  • 3篇MEMS
  • 2篇电容
  • 2篇电容式加速度...
  • 2篇陀螺
  • 2篇微机电系统
  • 2篇稳定性
  • 2篇控制器
  • 2篇机电系统
  • 2篇感器
  • 2篇高Q值
  • 2篇Q值
  • 2篇ASIC
  • 2篇传感

机构

  • 7篇哈尔滨工业大...
  • 3篇北京大学
  • 3篇中国科学院
  • 3篇中国科学院研...
  • 2篇教育部
  • 1篇哈尔滨工程大...
  • 1篇长沙理工大学
  • 1篇上海交通大学
  • 1篇威海职业学院
  • 1篇威海双丰电子...

作者

  • 7篇刘晓为
  • 3篇陈伟平
  • 3篇尹亮
  • 3篇谭晓昀
  • 3篇郝一龙
  • 3篇车录锋
  • 2篇周治平
  • 2篇张雅聪
  • 2篇洪理琛
  • 2篇鲁文高
  • 2篇黄靖清
  • 2篇伍峰
  • 2篇高成臣
  • 2篇陈中建
  • 2篇张婷婷
  • 2篇王跃林
  • 2篇赵猛
  • 2篇孙腾
  • 1篇姜一鸣
  • 1篇周贤中

传媒

  • 4篇哈尔滨工业大...
  • 2篇Journa...
  • 2篇仪表技术与传...
  • 2篇传感技术学报
  • 2篇纳米技术与精...
  • 2篇传感器与微系...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇北京大学学报...
  • 1篇中北大学学报...

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2013
  • 4篇2012
  • 7篇2011
  • 3篇2010
  • 3篇2009
17 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响被引量:3
2011年
高Q值MEMS电容式加速度计因具有很小的机械噪声,满足于高精度测量的需要,但欠阻尼的传感器系统动态性能较差,因此需要在闭环检测电路中通过补偿反馈模块施加电学阻尼,以降低系统Q值,改善系统的动态响应。首先通过MATLAB/SIMULINK仿真建立了带有延时的系统模型,进一步结合实际PCB板的测量,分析了不同反馈补偿参数下的阶跃响应和幅频响应曲线。实验结果表明,合适的反馈补偿参数能有效地降低系统Q值,改善动态响应。最后得出了该电容式加速度计在闭环系统下的较优比例微分参数的选择策略。
戚玉婕车录锋孙腾王跃林
关键词:电容式加速度计Q值微机械系统
微机械角速率传感器CMOS闭环驱动电路
2011年
为解决微机械角速率传感器的驱动信号对检测电极的耦合问题,提出一种基于电压频率调制闭环静电力驱动方法.该方法将驱动电压调制到高频,有效地将机械谐振频率与电压驱动频率分离,同时不改变驱动静电力的相位与频率.采用自动增益控制电路使得闭环驱动幅值非稳定性为0.01%,片上集成跨阻放大器可实现1 aF/sqrt(Hz)电容变化测量.闭环驱动电路采用18 V高压N阱CMOS工艺设计,芯片面积18.9 mm2.在±9 V电源条件下,角速率传感器输出刻度因子10 mV.((°).s-1)-1,线性度0.3%,偏置稳定性190((°)/h).测试结果表明,该方法在机械表头常压封装下(品质因子为80),无需后续电路相位调整,即能有效的实现传感器的闭环自激驱动.
尹亮刘晓为陈伟平周治平
关键词:角速率传感器寄生电容跨阻放大器专用集成电路
胃肠道微诊疗装置无线供能模块接收装置的优化设计
胃肠道微诊疗装置的体积、尺寸收到严格限制,能量接收装置要在有限空间内提供足够能量,优化空间利用率是关键。基于接收装置的姿态稳定性要求和温升限制。优化磁芯的材料与形状,并根据几何关系获得给定尺寸下磁芯尺寸与绕线股数和匝数的...
贾智伟颜国正石煜朱柄全
关键词:磁芯
文献传递
电容式振动传感器谐波失真自检测接口ASIC设计被引量:1
2010年
为实现电容式振动传感器的谐波失真测量,针对电容式振动传感器表头设计出一种开关电容型接口ASIC芯片,采用相同电极分时复用的方法,从而避免电容敏感与静电力反馈的馈通现象.对传感器敏感电容上下极板与中间质量块间的杂散电容导致的谐波失真进行了原理分析,可知传感器二次谐波与寄生电容成正比,三次谐波与寄生电容无关.提出采用电容阵列补偿、静电力平衡反馈式闭环电路结构进行传感器谐波失真抑制,并基于静电力原理提出一种新的电容式振动传感器谐波失真自检测方法,该方法无需精密振动台,仅需要低失真度电压信号源.实际测试结果显示,谐波失真检测精度可达到-83 dB.ASIC芯片采用2μm CMOS工艺流片,刻度因子为1.2 V/g(g为重力加速度,g=9.8 m/s2),量程为±2g,噪声密度为3×10-6g/(Hz)~(1/2),静态功耗为40 mW.测试结果证明,该电路达到高精度微加速度计系统设计要求,可以应用到地震监测、石油勘探等领域中.
刘晓为尹亮陈伟平王庆一周治平
关键词:振动传感器谐波失真开关电容
Sigma-Delta微加速度计改进型梳状滤波器的设计
2009年
为了改善Sigma-Delta微加速度计中梳状滤波器的性能,提高输出信号的信噪比,通过调整梳状滤波器的零点位置,可以得到改进型的梳状滤波器.研究表明,改进型梳状滤波器在不同的零点位置,表现出不同的量化噪声过滤性能.于是,利用遗传算法可以快速的求出输出量化噪声最小时的零点位置最优值.并通过对比四阶梳状滤波器和改进型梳状滤波器的幅频特性,发现改进型梳状滤波器在折叠区域有着更快速的截止性能,因此这种改进型梳状滤波器比经典型梳状滤波器有着更好的量化噪声过滤性能.
谭晓昀周贤中刘晓为
关键词:SIGMA-DELTA微加速度计梳状滤波器
Design and noise analysis of a sigma-delta capacitive micromachined accelerometer被引量:1
2010年
A single-loop fourth-order sigma-delta(ΣΔ) interface circuit for a closed-loop micromachined accelerometer is presented.Two additional electronic integrators are cascaded with the micromachined sensing element to form a fourth-order loop filter.The three main noise sources affecting the overall system resolution of aΣΔaccelerometer, mechanical noise,electronic noise and quantization noise,are analyzed in detail.Accurate mathematical formulas for electronic and quantization noise are established.The ASIC is fabricated in a 0.5μm two-metal two-poly n-well CMOS process.The test results indicate that the mechanical noise and electronic noise are 1μg/(Hz)^(1/2) and 8μV/(Hz)^(1/2) respectively,and the theoretical models of electronic and quantization noise agree well with the test and simulation results.
刘云涛刘晓为陈伟平吴群
关键词:SIGMA-DELTAACCELEROMETERASIC
新型低噪声微机械陀螺闭环驱动电路
2011年
为将陀螺结构引入到闭环驱动电路的仿真系统中,建立了与微机械陀螺结构等价的电学模型.微机械陀螺闭环驱动电路基于电荷泵锁相环技术,用低噪声跨阻放大器代替传统的电荷放大器实现I-V转换,有效避免了电荷放大器在实现I-V转换时所产生的随陀螺固有频率变化而变化的相位误差.用基于CCCII+技术的有源电阻代替无源电阻,大大降低了电路的噪声,并且提高了电路的集成度.仿真结果表明,微机械陀螺结构的固有频率为2.7 kHz,陀螺结构在驱动方向位移的相位滞后于驱动方向驱动力相位90°;在50μA的偏置电流下,有源电阻阻值为250 kΩ,在工作频率下的噪声为0.037 fV2/Hz,大大低于无源电阻的噪声.闭环接口电路实现了在陀螺固有频率下的自激振荡.
孙明谭晓昀李子芃刘晓为
关键词:微机械陀螺
MEMS检波器动态参数及测试方法的研究被引量:1
2010年
实际工程勘探中传感器通称检波器,常规的加速度和速度型传感器的检测量是静态参数,而石油勘探等领域检测的是动态参数,也就是频率和波形。MEMS检波器主要动态参数有:频率响应也称频率范围、失真系数、动态范围。本文主要研究MEMS检波器动态参数及测试方法,通过对地震勘探MEMS检波器进行动态性能分析,介绍频率范围、失真度系数、动态范围的测试方法,实际的测量结果证明了测试方法的正确性和可行性。
牛德芳杨仲华唐晓刚张桂仙
关键词:石油勘探动态范围失真度
时分反馈闭环MEMS电容式加速度计的新型自检测结构(英文)
2013年
设计了一种针对闭环加速度计的新型自检测结构.详细描述了这种基于电荷注入的自检测功能的原理.针对时分反馈闭环加速度计,从理论上推导了加速度计输出与自检测电压之间的关系,并利用Matlab/Simulink模型进行了验证.基于0.35μm高压CMOS工艺,设计了整个读出电路.测试结果显示,在自检测模式下,输出对自检测电压的灵敏度是0.3 V/V.
黄靖清张婷婷赵猛伍峰陈中建洪理琛张雅聪鲁文高郝一龙
关键词:加速度计自检测闭环微机电系统
一种电容式闭环微加速度计系统研究
2011年
基于SOG(Silicon on Glass)工艺设计了一种新型电容式加速度传感器结构,分析了该结构的检测和反馈原理.为了提高闭环微加速度传感器的性能,更好地实现闭环控制调节作用,对传感器系统进行了研究.在反馈系统中引入PID控制器,并建立了SIMLINK系统模型,分析了系统闭环传递函数以及控制参数对传感器系统的影响.仿真结果表明:PID控制器可以很好地改善系统的频率响应,增加系统带宽,调节系统的阻尼,减小系统的响应时间和调节时间,大大提高了闭环加速度计的性能.
陈伟平陈晓亮郭玉刚刘晓为
关键词:MEMS加速度计闭环系统PID控制器
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