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中国科学院知识创新工程(KGX2-101)
作品数:
2
被引量:1
H指数:1
相关作者:
朱旻
刘训春
杨威
王润梅
申华军
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中国科学院微电子研究所
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2006
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三指发射极InGaP/GaAs HBT的研制
被引量:1
2006年
异质结双极型晶体管(HBT)是MMIC领域中最具有竞争力的三端器件之一.本文提出了一种三指发射极HBT的设计.通过与同一版上两指发射极HBT比较,证实了该设计的工艺宽容度高、可靠性和一致性好、成品率高,并且仍然具有两指发射极HBT良好的击穿、直流和高频特性.
杨威
刘训春
朱旻
王润梅
申华军
关键词:
异质结双极型晶体管
自对准
合金温度对薄基区InGaP/GaAs残余电压和欧姆接触的影响(英文)
2006年
研究了薄基区HBT合金温度对残余电压Voffset和欧姆接触电阻Rcontact的影响,给出了薄基区HBT的最佳合金温度区域.用肖特基钳位理论解释了合金温度过高导致Voffset偏大的现象.从晶体管基本物理机制推导出Voffset与集电极、发射极面积比Ac/Ae的关系,并用此解释了U形发射极HBT具有较小Ac/Ae的原因,进一步证明了U型发射极结构的优越性.
杨威
刘训春
朱旻
王润梅
申华军
关键词:
异质结双极型晶体管
合金
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