您的位置： 专家智库 > >

江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(BCXJ06-11)

作品数：1 被引量：8H指数：1
相关作者：李多生赵礼刚陈荣发相炳坤王珉更多>>
相关机构：南京航空航天大学更多>>
发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目博士研究生创新基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇气相沉积
  • 1篇微观结构
  • 1篇金刚石
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇金刚石膜
  • 1篇化学气相
  • 1篇化学气相沉积
  • 1篇刚石
  • 1篇CVD金刚石
  • 1篇CVD金刚石...

机构

  • 1篇南京航空航天...

作者

  • 1篇左敦稳
  • 1篇王珉
  • 1篇相炳坤
  • 1篇陈荣发
  • 1篇赵礼刚
  • 1篇李多生

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
直流等离子体CVD金刚石薄膜微观结构分析被引量：8
2007年
采用直流等离子体CVD法制备了金刚石膜,利用X射线衍射、光学显微镜、扫描电镜、激光拉曼光谱等技术研究了金刚石膜的微观组织,晶粒择优取向生长过程。结果表明:开始形核时,晶粒随机无择优生长;对基体表面氢刻蚀预处理,有利于晶胚形核长大。甲烷浓度对金刚石膜晶粒择优取向生长有重要影响:甲烷浓度较低时,金刚石膜(100)面择优生长,形成以(111)为主的八面体晶体,并且可以制取中心和边缘均匀、高质量光学级自支撑金刚石膜,但生长速率慢,效率低。同时也发现金刚石膜存在空位、孔洞等缺陷。
李多生左敦稳陈荣发相炳坤赵礼刚王珉
关键词：化学气相沉积金刚石膜微观结构
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0