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河北省教育厅科研基金(ICP2004408)
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
相关作者:
王永青
马雯
孙荣霞
蒲永妮
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相关机构:
钢铁研究总院
中国人民武装警察部队学院
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发文基金:
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相关领域:
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蒲永妮
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孙荣霞
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马雯
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王永青
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年份
1篇
2008
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微型ICP激发源微电路组件的参数设计
被引量:2
2008年
本文简要介绍了一种采用微结构平面螺旋线圈的新的ICP(电感耦合等离子体)光谱激发源。作者设计加工出的基于PCB(印刷电路板)镀金工艺的微型ICP激发源在13.56MHz下成功启燃,并给出了ICP火炬照片。详细介绍了作者研制的微型ICP激发源的平面螺旋电感和交指电容的参数设计方法,给出了设计版图和实物照片,微结构线条宽度和间隙在数百微米量级。展望了平面螺旋电感和交指电容在微型ICP激发源的中的应用前景。
王永青
蒲永妮
马雯
孙荣霞
关键词:
平面螺旋电感
参数设计
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