广东省科技攻关计划(2004A10403008)
- 作品数：1 被引量：5H指数：1
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- 重复图案晶片自动检测新方法被引量：5
- 2008年
- 针对具有重复图案阵列的IC晶片结构特征,提出了一种基于旋转不变子空间技术(ESPRIT)算法的自比较模板匹配缺陷检测方法。应用ESPRIT算法精确计算出重复图案中结构块的大小,然后将图像中所有结构块对应位置的像素值平均,计算出标准结构块。再根据显微镜视野大小扩展标准结构块形成标准模板,通过比对实现缺陷检测。实验结果表明:采用ESPRIT算法求取结构块大小,具有较高的速度和精度,能够满足IC检测实时性要求。算法的计算复杂度为O(N3/2),精度可达到0.04 pixel。
- 吴黎明崔山领王立萍刘润予
- 关键词：IC晶片ESPRIT算法
- 基于FPGA的气门实时检测系统
- 为了对气门生产过程进行全面有效地监控,设计一套基于 FPGA+DSP 的嵌入式无损检测装置来实现对气门表面特征尺寸的实时检测。根据图像采集、处理、控制以及实时显示需求,进行硬件和软件的设计,本系统采用 Xilinx 公司...
- 吴黎明崔山领邓耀华王桂棠胡万斌
- 关键词：图像处理FPGADSP
- 文献传递
