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中国航空科学基金(59493300)

作品数：1 被引量：4H指数：1
相关作者：沈雅明刘文婷许宁刘正堂更多>>
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相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇氧化镱
  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射法制备
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇西北工业大学

作者

  • 1篇刘正堂
  • 1篇许宁
  • 1篇刘文婷
  • 1篇沈雅明

传媒

  • 1篇稀有金属材料...

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频磁控溅射法制备氧化镱薄膜被引量：4
2007年
利用射频磁控溅射法,以高纯氧化镱(Yb_2O_3)为靶材,成功地制备出了Yb_2O_3薄膜,并对薄膜的沉积速率、成分、结构和光学性能进行了研究。结果表明,制备的薄膜中Yb和O元素结合形成了Yb_2O_3化合物;薄膜为具有立方结构的多晶体;在波长0.8μm以上薄膜的折射率约为1.66,吸收很小。
许宁刘正堂刘文婷沈雅明
关键词：射频磁控溅射氧化镱
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共1页<1>
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