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中国民航大学科研基金(04-CAUC-14S)

作品数：1 被引量：11H指数：1
相关作者：孟月冬柴立全刘峰任兆杏王娟更多>>
相关机构：中国民航大学中国科学院等离子体物理研究所更多>>
发文基金：中国民航大学科研基金更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇内应力
  • 1篇微结构
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇中国民航大学
  • 1篇中国科学院等...

作者

  • 1篇李立
  • 1篇王娟
  • 1篇任兆杏
  • 1篇刘峰
  • 1篇柴立全
  • 1篇孟月冬

传媒

  • 1篇中国民航学院...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
射频磁控溅射Cr/CrN膜微结构和力学性能研究被引量：11
2006年
利用射频磁控溅射制备了Cr/CrN多层薄膜,并对比单层CrN薄膜,分析研究了多层膜周期与结构和性能之间的关系。研究结果表明:多层膜中没有出现柱状晶体结构,而且结晶取向与单层CrN有显著区别;多层膜的应力普遍小于单层CrN,硬度略高于或接近于单层CrN,在外力作用下的抗变形能力远高于单层CrN;多层膜的应力和硬度随周期厚度的减小而增大,在周期15 nm时硬度值达到最大23.8 GPa,表明Cr/CrN多层膜的硬度与周期结果有关,而且存在使薄膜性能达到最佳的周期值。
李立刘峰柴立全王娟孟月冬任兆杏
关键词：射频磁控溅射微结构内应力
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共1页<1>
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