江苏省博士后科研资助计划项目(0901035C)
- 作品数：7 被引量：16H指数：3
- 相关作者：左敦稳孙玉利朱永伟周亮王珉更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学更多>>
- 发文基金：中国博士后科学基金江苏省博士后科研资助计划项目中央级公益性科研院所基本科研业务费专项更多>>
- 相关领域：金属学及工艺化学工程建筑科学理学更多>>
- 不同摩擦偶件对单晶硅摩擦磨损行为影响的对比研究被引量：3
- 2011年
- 对比研究Al2O3和玛瑙球对单晶硅摩擦磨损行为的影响。结果表明:单晶硅与Al2O3和玛瑙球对摩时,摩擦因数均随滑动速度的增加而降低,二者与单晶硅对摩时的摩擦因数相差很小;与Al2O3和玛瑙球对摩时,单晶硅的磨损体积损失均随滑动速度的增加而减小;在相同实验条件下,与Al2O3球对摩时;单晶硅的磨损体积损失明显大于与玛瑙球对摩时的。单晶硅与Al2O3和玛瑙球对摩的磨损机制基本相同:低速下以微断裂和塑性变形为主,高速下以较光滑表面为特征,即存在"速度效应"。相比于Al2O3与单晶硅对摩时,玛瑙与单晶硅对摩时的单晶硅磨损表面更光滑,主要与Al2O3、玛瑙及单晶硅的物理力学性能有关,尤其与材料的硬度有关。
- 孙玉利左敦稳朱永伟李军王珉
- 关键词：单晶硅摩擦磨损行为
- 金刚石线锯锯切微晶玻璃正交试验研究被引量：2
- 2012年
- 对电镀金刚石线锯锯切微晶玻璃的工艺参数进行了试验优化研究。设计了3因素4水平的正交试验,分析了工件进给速度、锯丝线速度和气缸压力对切片表面粗糙度和锯切效率的影响,获得了基于降低表面粗糙度和提高锯切效率的锯切工艺参数。在本试验范围内,优化的工艺参数为:工件进给速度0.75 mm/min、锯丝线速度1.7 m/s,气缸压强0.26 MPa。
- 杨扬左敦稳孙玉利杨张一童巨特
- 关键词：金刚石线锯微晶玻璃正交试验
- 固结磨料抛光的平面度预测模型被引量：1
- 2010年
- 本文利用Matlab建立了固结磨料抛光的平面度预测模型,根据硅片初始形貌及抛光参数值,可以预测抛光后硅片的表面形貌,并通过实验验证了该模型的可靠性。利用该模型分析了各抛光工艺参数对平面度的影响,结果表明:硅片和抛光垫转速不等时,硅片呈凸形,转速相差越大,平面度越差,但转速大小对平面度影响较小;增大偏心距有利于减小转速不等带来的影响,使平面度变好;选择较小的压力有利于平面度的提高。
- 康静左敦稳孙玉利朱永伟
- 关键词：平面度去除速率MATLAB
- 微米级冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺研究被引量：3
- 2010年
- 通过四因素三水平正交实验,对微米级冰冻固结磨料抛光微晶玻璃的工艺进行了研究。采用单位时间试样厚度变化表征抛光速度,以平均粗糙度表征抛光质量。获得了以优化抛光质量为目的的工艺参数:抛光压力:0.05MPa;主轴转速:200r/min;偏心距:105mm;抛光时间:60min。在该条件下获得了表面平均粗糙度为2.86nm的超光滑表面,并且抛光速率为12.35nm/min,并对抛光因素对表面质量和抛光速度的影响趋势进行了分析。
- 祝晓亮孙玉利左敦稳周亮
- 关键词：微晶玻璃正交试验
- 微晶玻璃低温脆塑转变机理的研究被引量：6
- 2009年
- 微晶玻璃是一种新型的硬盘基板材料,目前大多采用超精密研磨和抛光进行加工。本文针对微晶玻璃低温抛光加工过程,研究了低温条件下微晶玻璃的脆塑转变机理,采用维氏硬度计研究了微晶玻璃在不同温度下的硬度以及裂纹的产生、扩展及特征,分析了温度对微晶玻璃脆塑转变的影响。结果表明:不同温度下,随着载荷的增加,微晶玻璃都经历了从塑性变形到脆性断裂的转变过程;随着温度的降低,微晶玻璃的显微硬度逐渐增加而裂纹长度减小。
- 周亮左敦稳孙玉利朱永伟
- 关键词：微晶玻璃压痕法
- 光学玻璃上HFCVD法沉积金刚石膜的实验研究
- 2010年
- 采用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术在石英玻璃上成功制备出高质量金刚石膜。采用表面三维轮廓仪和傅立叶红外光谱仪测试了不同工艺条件下金刚石薄膜的表面粗糙度和红外透射率,并分析了测试结果。结果表明所制备的金刚石膜表面平整,红外透射性能良好。
- 许春左敦稳孙玉利卢文壮王珉
- 关键词：HFCVD石英玻璃金刚石膜表面粗糙度
- 固结磨料抛光去除均匀性的仿真与实验研究被引量：1
- 2011年
- 为分析材料去除的均匀性,利用ANSYS建立了固结磨料抛光过程中的三维应力场模型,得到了该抛光系统加载方式下工件表面的等效应力分布,并分析了各因素对去除均匀性的影响。针对现有加载方式下应力分布不均匀的现象,提出了两项加载方式的改进措施:加厚承载器和重新设计加载装置,并对加载装置的尺寸进行了优化。最后通过两组对比实验,证实了所提出的两项加载方式改进措施的有效性。
- 康静左敦稳孙玉利朱永伟
- 关键词：ANSYS
