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国家自然科学基金(19874007)
作品数:
4
被引量:62
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相关作者:
陈光华
杨宁
张阳
朱鹤孙
贺德衍
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作者
4篇
陈光华
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朱鹤孙
1篇
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1篇
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1篇
张生俊
1篇
张阳
1篇
李朝阳
1篇
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1篇
杨宁
1篇
李英兰
1篇
贺德衍
传媒
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无机材料学报
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物理学报
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1篇
2003
1篇
2001
2篇
2000
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热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜
被引量:3
2003年
立方氮化硼(cBN)是一种具有广泛应用价值的Ⅲ-Ⅴ族二元化合物,其优异性质可与金刚石相比拟或胜之。立方氮化硼的制备与性能研究是近二十年来材料领域关注的焦点之一。我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜,并初步探讨了热丝对cBN形成的作用。偏压并不是cBN形成的唯一主要条件,活性粒子也有非常关键的作用。
张生俊
陈光华
关键词:
CBN
ECR
CVD
热丝
富勒烯-聚甲基丙烯酸甲酯复合膜溶胶-凝胶制备与结构的研究
被引量:3
2000年
采用溶胶-凝胶的方法,在Si(100)衬底上制备了C60-聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA )复合膜.红外光谱分析表明,C60分子已均匀地分布在PMMA中,凝胶以后形成了C 60-PM MA复合膜.利用X射线衍射(XRD)谱研究了该复合膜的结构,结果表明,在200℃真空退火后 C60分子 趋向相互聚集并形成晶化C60颗粒,其尺寸强烈依赖于C60含量.随C60含 量的增加,晶化C6 0颗粒尺寸增大.高C60含量的复合膜中多晶状态的C60 颗粒,呈现面心 立方(fcc)结构〈111〉方向的择优排列特征;并且观察到XRD信号极强的、异常的333衍射 峰现象,对其产生机理进行了初步探讨.
李英兰
李朝阳
邹云娟
严辉
陈光华
关键词:
溶胶-凝胶
复合膜
薄膜生长的理论模型与Monte Carlo模拟
被引量:30
2000年
用MonteCarlo方法模拟了薄膜的二维生长 .引入Morse作用势描述粒子间的相互作用情况 ,研究了相互作用范围α对薄膜生长初期形貌的影响 .薄膜的生长经历了由临界核的形成、团的长大、形成迷津结构到连续成膜 4个阶段 .模拟结果表明 ,随着沉积粒子数的增加 ,成团粒子所占百分比下降 .这与实际情况相符 .
杨宁
陈光华
张阳
公维宾
朱鹤孙
关键词:
薄膜生长
MORSE势
蒙特卡罗模拟
氮化碳薄膜的结构与特性
被引量:26
2001年
采用射频等离子体增强化学气相沉积(CVD)+负偏压热丝辅助方法直接在Si(100)衬底上制备了多晶C3N4薄膜.X射线衍射测试表明,薄膜同时含有α-和βC3N4晶相以及未知结构,没有观测到石墨衍射峰.利用扫描电子显微镜观测到线度约2μm、横截面为六边形的β-C3N4晶粒.纳米压痕法测得薄膜的硬度达72.66 GPa.
陈光华
吴现成
贺德衍
关键词:
化学气相沉积
氮化碳
扫描电镜
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