陕西省教育厅科研计划项目(05JK222)
- 作品数：2 被引量：6H指数：1
- 相关作者：严一心弥谦董网妮徐均琪杭凌侠更多>>
- 相关机构：西安工业大学更多>>
- 发文基金：陕西省教育厅科研计划项目教育部科学技术研究重点项目陕西省教育厅产业化培育项目更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 瞬时相移干涉测量方法的仿真
- 2008年
- 为了消除相移干涉测量中的环境振动和空气扰动的影响,提出了一种瞬时相移干涉测量方案.在泰曼格林干涉仪的基础上,利用二维正弦光栅的频谱特性,选取其(±1,±1)级衍射光作测量分光光路,使之通过一个偏振移相阵列,从而形成相位差分别为0,°90,°180°和270°的四幅相移干涉图.针对平面对测量方案进行了仿真研究,对被测波面进行了复原.表明该系统适用于现场测量和动态测量,并对比时域相移干涉系统分析了其误差来源.
- 刘丙才田爱玲王红军
- 关键词：抗振技术仿真
- 宽束冷阴极离子源离子能量及能量分布的研究被引量：6
- 2008年
- 介绍了一种用于离子束辅助沉积光学薄膜的新型宽束冷阴极离子源，详细叙述了该源的结构和工作过程。采用五栅网离子能量测试装置研究了离子源的离子能量及能量分布。结果表明，探针接收的离子最低能量随着引出电压和真空度的升高而升高。离子能量分布概率密度函数为单峰函数，其峰值位置随着真空度的降低向低能量方向移动，随着引出电压的升高向高能量方向移动。当引出电压为200～1200V时，离子平均能量为600-1600eV，呈线性规律变化。这种离子源的离子平均初始动能约为430-480eV。了解和掌握离子源的这些特性和参数，可以有效的对镀膜过程的微观环境（离子密度、离子能量等）进行控制，促进薄膜制备工艺更好地进行。
- 徐均琪弥谦杭凌侠严一心董网妮
- 关键词：离子能量离子源
