国家自然科学基金(50875073)
- 作品数：5 被引量：9H指数：2
- 相关作者：李瑞君钱剑钊龚伟黄强先张晴更多>>
- 相关机构：合肥工业大学安徽电气工程职业技术学院台湾大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划安徽省高等学校优秀青年人才基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
- 基于DVD光学读取头的测微力计被引量：1
- 2012年
- 为满足微纳米三维接触扫描探头测力的需要,提出了一种基于DVD光学读取头的测微力计。该测微力计由固定及微调支座、L形铜条、平面反射镜、DVD光学读取头和阻尼装置五部分组成。当力作用在L形铜条上时,贴在铜条上的平面反射镜会产生微小位移,该微小位移由DVD光学读取头来感测;通过建立被测力与平面反射镜微位移之间的关系,从而实现微小力的测量。用该测微力计对一个微纳米三维接触扫描探头的测力过程进行了测量,测量结果与对该微纳米三维接触扫描探头的有限元分析结果一致。
- 陶胜张珂张晴
- 一种基于DVD读取头的非接触触发探头被引量：5
- 2014年
- 提出了一种基于DVD读取头原理的非接触光学聚焦探头，该探头由商用DVD读取头改装而成，已经完成其设计与制作。实验结果表明探头分辨率优于2nm，测量重复性可达20nm，目前已应用于纳米三坐标测量机上。
- 高伟陈晓怀李瑞君程真英
- 关键词：计量学纳米三坐标测量机
- 基于DVD光学读取头的大量程高精度扫描探头被引量：4
- 2011年
- DVD光学读取头已被改装成微纳米扫描探头,但是已有改装方案都存在感测精度与感测范围不能同时兼顾的不足。文章研究发现,DVD光学读取头聚焦透镜的数值孔径(NA)值对扫描探头的感测范围有显著影响;去掉DVD光学读取头中的音圈电机,避免其迟滞特性的影响,可获得较高的精度;更换数值孔径值为0.16的聚焦透镜可增大线性感测范围。实验结果表明,该扫描探头的线性感测范围超过90μm,20min的稳定性误差为82.5nm。
- 李瑞君钱剑钊龚伟黄强先
- 关键词：聚焦透镜数值孔径量程
- Stability Analysis of Contact Scanning Probe for Micro/Nano Coordinate Measuring Machine被引量：2
- 2012年
- 李瑞君范光照钱剑钊黄强先龚伟苗晋伟
- 关键词：稳定性分析
- 复合控制模式的长行程纳米定位控制系统被引量：1
- 2013年
- 提出一种基于BPNN-PID(Back Propagation Neural Network PID)的纳米定位控制系统。该系统包括驱动平台的超音波马达HR4及其驱动器AB2,共平面二维平台,及作为各轴位移反馈的多自由度传感器MDFS(Multi Degrees of Freedom Sensor)。超音波马达HR4及其驱动器AB2提供三种驱动模式(AC,Gate和DC模式)来适应不同的行程、速度和分辨力要求;AC模式下使用BPNN-PID控制速度,Gate模式下使用简单的比例PID控制步距,DC模式下重新使用BPNN-PID来锁定平台位置以达到准确定位。以SIOS SP-2000激光干涉仪作为位移基准搭建实验系统进行精度校正。实验表明:该系统在全程20 mm的行程内,定位误差在10 nm以内,标准差小于5 nm。
- 张晴王呐周浩
- 关键词：定位控制
