国家自然科学基金(50875050)
- 作品数：8 被引量：21H指数：3
- 相关作者：阎秋生路家斌张鹏程潘继生祝江停更多>>
- 相关机构：广东工业大学南昌航空大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金国家教育部博士点基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程化学工程更多>>
- 磁流变-化学机械复合抛光装置设计被引量：1
- 2012年
- 针对SiC晶片外延膜生长需达到原子级超光滑表面的要求以及加工效率低、表面精度差的问题,提出了一套磁流变-化学机械精密抛光装置,该装置利用软件平台对抛光盘和工件运动精确控制,并具有温度、转速等参数微调及显示功能。对装置的工作原理、结构进行了介绍,并在该装置上进行了工艺试验,取得较高的加工效率和光滑无损伤的加工表面。
- 祝江停阎秋生高伟强
- 关键词：化学机械抛光磁流变抛光复合抛光
- 一种电磁式集群磁流变电磁铁的结构设计及优化被引量：2
- 2012年
- 合理的磁路结构及均匀的磁场强度是影响磁流变抛光效果的关键因素,基于电磁铁的特性并结合实验室提出的集群磁流变技术,设计了一种电磁式集群磁流变电磁铁。详细分析了集群磁流变电磁铁的结构设计,通过Ansoft有限元仿真对磁指长度、集群点阵的结构、集群点阵的间隙和集群点阵的深度进行仿真及优化。优化结果显示:磁指长度l=26mm,磁场区域可以实现由线域到面域;集群点阵为方形下凹,磁极表面磁场强度较大;集群点阵间隙为1mm、深度为2mm时,磁极表面可以获得比较均匀的面域磁场。
- 童和平阎秋生潘继生
- 关键词：集群有限元仿真电磁铁磁极
- 磁流变效应微砂轮的磨粒半固着机理研究被引量：5
- 2010年
- 针对磁流变效应微砂轮抛光工艺,理论分析了磁流变效应磁链对磨粒的有效约束使磨粒处于半固着状态的机理。建立了磨粒受磁链约束的模型,研究了磁流变工作液中磨粒的种类、大小、形状和体积分数等特性对磨粒半固着状态以及所形成的磁流变效应微砂轮性能的影响。进行了磁流变效应微砂轮加工沟槽实验,分析了磨粒特性对材料去除率的影响,实验结果与理论分析相吻合,表明所建立的磁流变效应微砂轮磨粒半固着理论是正确的。
- 柴京富阎秋生张鹏程
- 关键词：磁流变效应磨粒
- 基础液对磁流变效应微砂轮微沟槽加工的影响被引量：2
- 2010年
- 在磁流变液中添加金刚石磨料配置成抛光用磁流变工作液,对玻璃工件进行微沟槽加工试验。以磁流变工作液的剪切应力以及所加工的微沟槽形貌为分析评价指标,系统研究了基础液的种类(硅油、蓖麻油、液体石蜡、水)、黏度、含量对磁流变微沟槽加工的影响。结果表明,基础液对磁流变效应微砂轮的加工效果具有决定性的影响,以硅油作为基础液具有较好的去除率和加工精度;加工精度随着基础液粘度的增大而提高;基础液的含量有一个最佳值,当硅油的含量为59.3%时,磁流变效应微砂轮的材料去除率达到最大。
- 张鹏程阎秋生路家斌
- 磨料对磁流变工作液性能及加工效果的影响被引量：6
- 2010年
- 本文研究了磁流变工作液中添加磨料种类、含量、粒度对其性能的影响,以及对磁流变效应微砂轮加工效果的影响。结果表明:添加磨料对磁流变效应的影响程度以氧化铈、碳化硅、金刚石、氧化铝的顺序增大,随着添加磨料含量增加、粒度增大,磁流变效应均被削弱。磁流变效应微砂轮加工微沟槽过程中,添加磨料对微砂轮加工性能的影响受到添加磨料对磁流变效应和磁流变效应微砂轮加工性能正反两方面的影响而出现最优加工效果。当磨料含量为3%时沟槽的宽度、深度和材料去除率都达到最大;当磨料粒度为W3.5时,加工沟槽的宽度最大;当磨料粒度为W7时,加工沟槽的深度和材料去除率最大。
- 张鹏程阎秋生路家斌
- 关键词：磁流变效应剪切应力磨料
- 磁流变效应即效微磨头平面抛光研究被引量：1
- 2009年
- 利用磁流变效应即效微磨头对光学玻璃进行了抛光试验,研究了磁感应强度、加工间隙、工具转速、加工时间等参数对工件表面粗糙度值的影响。研究发现,磁感应强度、加工间隙、工具转速等对抛光质量的影响规律相似,都是随着参数值的增大,表面粗糙度呈现先减小、后增大的趋势;但加工时间的影响略有不同,随着加工时间的延长,表面粗糙度迅速下降,然后趋于稳定。研究结果表明,合适的参数选择是提高磁流变效应即效微磨头抛光质量的关键。
- 杨勇阎秋生路家斌刘毅高伟强
- 关键词：磁流变效应抛光表面粗糙度
- 氮化铝基片的集群磁流变抛光加工被引量：6
- 2011年
- 本文进行了氮化铝基片的集群磁流变抛光加工研究,分析了主要工艺参数的影响和加工表面形貌特征。实验结果表明:集群磁流变抛光加工氮化铝基片可以实现高效率超光滑抛光,原始表面Ra1.730 2μm抛光60 min后可以达到Ra0.037 8μm。选用碳化硅磨料,磨料质量浓度为0.05 g/mL,工件与抛光盘转速比为5.8左右,加工初期采用较小加工间隙最后抛光采用较大加工间隙,可以获得较高的材料去除率和较光滑的加工表面。
- 白振伟阎秋生路家斌潘继生祝江停
- 关键词：抛光表面粗糙度
- SrTiO_3陶瓷基片集群磁流变研磨加工表面特性研究被引量：1
- 2013年
- 采用集群磁流变效应研磨加工工艺进行SrTiO3陶瓷基片研磨加工,分析了研磨盘材料、磨粒种类、研磨压力和磨粒团聚等因素对SrTiO3陶瓷基片表面粗糙度和表面完整性的影响。结果表明:磁流变效应研磨工作液中的SiC、Al2O3和CeO2等磨料的大尺寸磨粒在SrTiO3陶瓷基片研磨加工表面产生的局部大尺寸划痕破坏了加工表面的完整性;采用铸铁研磨盘和SiO2磨料的磁流变研磨工作液研磨加工后,原始表面粗糙度Ra从约1.7854μm下降到0.6282μm,并且表面完整,SrTiO3材料与SiO2磨料之间存在的化学机械研磨过程促进了研磨加工表面性能的改善;研磨压力也是影响研磨加工表面粗糙度和大尺寸划痕的主要因素之一,研磨压力取较小值(1.875kPa)为宜。
- 刘俊龙阎秋生路家斌潘继生
- 关键词：SRTIO3陶瓷划痕
