您的位置： 专家智库 > >

中国航空科学基金(05H51046)

作品数：1 被引量：10H指数：1
相关作者：徐政沈志刚俞晓正更多>>
相关机构：北京航空航天大学更多>>
发文基金：中国航空科学基金北京市教育委员会共建项目更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇金属薄膜
  • 1篇空心微珠
  • 1篇溅射
  • 1篇场发射扫描电...
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇北京航空航天...

作者

  • 1篇俞晓正
  • 1篇沈志刚
  • 1篇徐政

传媒

  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的研究被引量：10
2006年
本文论述了在空心微珠表面磁控溅射镀金属薄膜的方法。用光学显微镜、场发射扫描电子显微镜、能谱仪和X射线衍射仪对其进行了分析表征。溅射镀膜时,通过控制空心微珠的运动方式,在空心微珠表面沉积了一层均匀性好、附着力强和致密性好的金属镍膜。
俞晓正徐政沈志刚
关键词：磁控溅射金属薄膜场发射扫描电子显微镜空心微珠
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0