江苏省自然科学基金(BK2008382)
- 作品数：4 被引量：7H指数：1
- 相关作者：徐锋王红军卢文壮左敦稳袁佳晶更多>>
- 相关机构：南京航空航天大学南京工业职业技术学院更多>>
- 发文基金：江苏省自然科学基金国家自然科学基金江苏省精密制造工程技术研究开发中心开放基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 金刚石微铣刀头图形化法的制备研究被引量：1
- 2010年
- 微细铣削加工技术是具有较高相对精度的精密三维微小零件的制造技术,微零件尺寸和精度在很大程度上依赖于微切削刀具的切削性能。CVD金刚石膜作为一种具有众多卓越特性的功能材料,是制造新型超硬微铣刀的优越刀具材料。本文开展了硅微模具图形化法沉积金刚石膜微铣刀头的实验研究,成功制作了特征尺寸为25μm、50μm和100μm双层金刚石微铣刀头。SEM,ADE等分析结果表明采用的工艺能够获得表面质量好、形状和尺寸精度很高的金刚石微铣刀头,该工艺能够实现批量制造,是制作金刚石微铣刀的理想方法。
- 朱良杰卢文壮徐锋左敦稳王正鑫张敏
- 关键词：CVD金刚石
- 基于模型复制法的金刚石微结构制备研究被引量：5
- 2010年
- CVD金刚石膜是一种具有众多卓越特性的功能材料,在微机电系统(MEMS)领域有着广泛的应用前景。金刚石膜的精密微细图形化加工技术是将金刚石材料应用于MEMS微器件的关键技术。本文开展了金刚石微结构的制备实验研究,利用在硅微模具中沉积金刚石膜的方法成功制作了微细梁、微圆柱、十字结构、文字图形等一系列金刚石微结构。Raman、SEM、ADE等多种理化分析结果表明采用这种模型复制工艺能够获得表面质量好、图形复杂、形状和尺寸精度很高的金刚石微结构,并能够实现批量制造,是制作金刚石微器件的理想方法。
- 袁佳晶卢文壮王红军徐锋左敦稳
- 关键词：CVD金刚石微结构HFCVD
- 基于AutoCAD的掩膜用微齿轮渐开线齿廓拟合被引量：1
- 2011年
- 应用微电子行业的深硅刻蚀技术ICP制备微齿轮过程中,设计微齿轮掩膜板时,为了将AutoCAD等软件设计的微齿轮渐开线轮廓正确导入LinkCAD等光刻掩膜文件格式转换软件中,需将渐开线齿廓非样条化。针对分度圆直径1mm的微齿轮渐开线齿廓按等基圆中心角的方式分别进行8、12、20分段,并分别用直线和圆弧段拟合。实验证明,微齿轮渐开线应用8分段并用圆弧拟合能获得相对光顺和精度最高的拟合曲线,能满足微齿轮齿廓要求。采用的方法为其他类似曲线段的拟合提供了有价值的参考。
- 王红军王道林徐锋
- 关键词：微齿轮掩膜
- 面向微机械应用的CVD金刚石微齿轮的制备被引量：1
- 2011年
- 以电感耦合等离子体(ICP)刻蚀工艺制备单晶硅微齿轮陈列模具,采用热丝法化学气相沉积(HFCVD)制备出结构精细的金刚石微齿轮,其齿顶圆直径约1.55 mm、齿轮厚度10μm。应用扫描电镜分别观察了ICP刻蚀的硅微齿轮模具及CVD金刚石微齿轮,表明齿轮微结构形貌精细,金刚石微齿轮较好地复制了硅微细结构;Raman光谱分析表明微齿轮的金刚石质量较高。此工艺可以实现金刚石薄膜的精细图形化,为面向微机械应用的金刚石器件的经济批量制备提供了一种途径。
- 王红军左敦稳徐锋卢文壮王珉
- 关键词：图形化微结构微机械
