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安徽省高校省级自然科学研究项目(2002KJ241ZD)

作品数：1 被引量：5H指数：1
相关作者：陈长琦刘珍朱武王君陈明更多>>
相关机构：合肥工业大学更多>>
发文基金：安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
相关领域：一般工业技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇一般工业技术

主题

  • 1篇带电粒子
  • 1篇带电粒子运动
  • 1篇电粒子
  • 1篇溅射
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇合肥工业大学

作者

  • 1篇陈明
  • 1篇王君
  • 1篇朱武
  • 1篇刘珍
  • 1篇陈长琦

传媒

  • 1篇真空

年份

  • 1篇2007
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
磁控溅射中电磁场分布及带电粒子运动的模拟与计算被引量：5
2007年
电磁场分布及其对各种带电粒子的约束情况对磁控溅射过程有着决定性的影响。本文首先利用物理场耦合分析软件Comsol3.2a分析了直流磁控溅射电磁场的分布,并且计算分析了单个带电粒子的运动情况。在此基础上,计算分析了带电粒子束流在电磁场中的运动情况、空间分布,得到了磁控溅射电磁场区域分布、单个电子的运动轨迹及带电粒子在空间区域中位置分布。
王君刘珍陈长琦朱武陈明
关键词：磁控溅射
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