江西省自然科学基金(2007GZW0787)
- 作品数：3 被引量：3H指数：1
- 相关作者：谢耀江王立富胡跃辉陈光华曾仁芬更多>>
- 相关机构：景德镇陶瓷学院北京工业大学更多>>
- 发文基金：江西省自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程更多>>
- 贵金属Ag沉积ZnO薄膜的光催化性能研究被引量：3
- 2011年
- 采用真空蒸发镀膜的方法在预先制备好的厚度为200nm的氧化锌薄膜表面沉积了贵金属Ag,并对其光吸收和光催化性能进行了研究。结果表明,沉积Ag厚度为5nm的薄膜比纯氧化锌薄膜的光催化效率提高了约20%,同时也比沉积Ag厚度为2nm的薄膜光催化效果好,且在太阳光照射下的光催化效率比在紫外光照射下高出9%。
- 王英连曾仁芬叶君耀
- 关键词：ZNO薄膜光催化
- 用HW-MWECRCVD系统沉积大面积均匀氢化非晶硅薄膜的研究
- 2009年
- 通过紫外-可见透射谱技术,计算得到薄膜各个位置的拟合厚度值,研究了a-Si∶H薄膜的厚度均匀性;通过对紫外-可见透射谱的分析和对红外吸收谱峰宽度的分析,研究了a-Si∶H薄膜的结构均匀性。研究发现对于单磁场线圈MWECRCVD系统,ECR区的不均匀性和沉积室的磁场梯度的不均匀,是影响a-Si∶H薄膜均匀性的主要原因。通过改进矩形耦合波导和热丝辅助及减小磁场线圈电流的方法,采用HW-MWECRCVD系统,在直径为6cm的衬底上沉积了厚度不均匀性<3.5%的a-Si∶H薄膜。
- 王立富胡跃辉张祥文陈光华曲铭浩谢耀江
- 关键词：均匀性氢化非晶硅薄膜
- 用MWECR CVD系统制备具有非晶/微晶两相结构的硅薄膜研究
- 2010年
- 用微波电子回旋共振化学气相沉积(MWECR CVD)系统制备了具有非晶/微晶两相结构的硅薄膜,研究了沉积温度和沉积压力等对制备微晶硅薄膜的结构和电学特性的影响。结果表明:较低的反应压和较高的衬底温度有利于获得非晶/微晶两相结构的硅薄膜,当反应压为0.7 Pa、衬底温度为170℃时,得到非晶/微晶两相结构的硅薄膜晶相体积比约为30%;具有这种晶相体积比的非晶/微晶两相结构的硅薄膜,μτ乘积值约为10-5量级左右,比不含微晶成分的氢化非晶硅样品的μτ乘积值大约2个量级,同时这种晶相体积比的非晶/微晶两相结构的硅薄膜的光敏性在103～104左右,其兼具很好的光电导稳定性和优良的光电特性,是制备非晶硅太阳电池的器件级本征层材料。
- 谢耀江胡跃辉肖仁贤陈光华徐海军陈义川王立富
