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博士科研启动基金(0kydf075)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：王珊珊张志勇段晓峰阎军峰邓周虎更多>>
相关机构：中国科学院西北大学更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氮化镓
  • 1篇氮化镓薄膜
  • 1篇溶胶
  • 1篇溶胶-凝胶
  • 1篇溶胶-凝胶法...
  • 1篇凝胶法制备
  • 1篇GAN薄膜

机构

  • 1篇西北大学
  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇赵武
  • 1篇王雪文
  • 1篇邓周虎
  • 1篇阎军峰
  • 1篇段晓峰
  • 1篇张志勇
  • 1篇王珊珊

传媒

  • 1篇光子学报

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
GaN薄膜的溶胶-凝胶法制备及其表征被引量：3
2009年
采用溶胶凝胶法成功地制备出氮化镓薄膜.以单质镓为镓源制备镓盐溶液、柠檬酸为络合剂制备出前驱体溶胶,再甩胶于Si(111)衬底上,在氨气氛下热处理制备出GaN薄膜.X射线衍射(XRD)分析及选区衍射分析(SAED)表明所制备的薄膜是六角纤锌矿结构GaN薄膜;XPS分析其表面,结果显示样品中的镓元素、氮元素均以化合态存在,且Ga:N约为1:1;PL谱分析结果表明所制备的薄膜具有优良的发光性能.
王珊珊王雪文阎军峰邓周虎段晓峰赵武张志勇
关键词：氮化镓薄膜溶胶-凝胶
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