江苏省科技基础设施建设计划项目(BM2009611)
- 作品数：3 被引量：4H指数：1
- 相关作者：张兴旺王文静周春兰曹晓宁更多>>
- 相关机构：中国科学院更多>>
- 发文基金：江苏省科技基础设施建设计划项目江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信化学工程更多>>
- 硅烷氨气比对PECVD氮化硅薄膜性能的影响被引量：1
- 2011年
- 利用PECVD在硅片上沉积SiNx:H薄膜,研究硅烷氨气流量比对SiNx:H薄膜的组分、折射率和钝化效果的影响。X射线光电子能谱(XPS)和椭偏仪的测试结果表明,硅烷氨气流量比(SAR)在0.09～0.38以内沉积的所有薄膜都呈现出富硅的组分,而且随着SAR的逐渐增加,Si的含量逐渐增加,折射率逐渐增大。微波光电导衰退(μ-PCD)的测试结果表明,Si含量适中(也即折射率适中)的薄膜,相比Si含量过低或过高的薄膜,呈现出更为稳定的钝化效果。
- 屈盛毛和璜韩增华曹晓宁周春兰王文静张兴旺
- 关键词：晶体硅太阳电池
- 不同醇类对单晶硅绒面特性的影响被引量：1
- 2011年
- 在单晶硅太阳电池的绒面制作过程中分别采用一元醇(乙醇、异丙醇)和二元醇(乙二醇、丙二醇)作为添加剂,比较它们对单晶硅绒面特性的影响。实验表明,一元醇可以降低化学反应速率,而二元醇可以加快反应速率,缩短制绒时间。二元醇相比一元醇具有更高的沸点,在制绒过程中挥发更少,可以减少药品的损耗,降低成本,然而二元醇的消泡效果比一元醇差,制绒时需要采用更大的初始浓度。扫描电子显微镜(SEM)结果表明,一元醇趋向于使绒面金字塔更均匀,而二元醇则容易导致绒面金字塔不均匀。反射谱的测试结果表明,采用二元醇作为添加剂进行制绒,相比一元醇,可以获得更低的硅片表面反射率。
- 屈盛张兴旺毛和璜余银祥韩增华汤叶华周春兰王文静
- 关键词：晶体硅太阳电池一元醇二元醇
- 双层PECVD氮化硅膜晶体硅太阳电池被引量：2
- 2011年
- 利用管式PECVD在太阳电池片上沉积双层折射率和厚度均不同的SiNx:H薄膜。这种双层SiNx:H薄膜是采用2个不同的硅烷氨气流量比在1次沉积过程中获得的,其第1子层(靠近硅片)具有较高的折射率和较薄的厚度,而第2子层具有较低的折射率和较厚的厚度。椭圆偏振测厚仪、微波光电导衰退(μ-PCD)以及I-V特性等的测试结果表明,这种折射率变化的双层SiNx:H薄膜,相比折射率单一的单层SiNx:H薄膜,具有更好的表面钝化效果,其所钝化的单晶硅太阳电池,光电转换效率可以绝对提高0.2%以上,而且在1个月内没有发生明显衰减。
- 屈盛毛和璜韩增华汤叶华周春兰王文静张兴旺
- 关键词：晶体硅太阳电池
