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教育部重点实验室开放基金(2011-6)

作品数：1 被引量：7H指数：1
相关作者：邹宇伍建春蒋勇范晓强王春芬更多>>
相关机构：中国工程物理研究院四川大学洛阳船舶材料研究所更多>>
发文基金：教育部重点实验室开放基金国家教育部博士点基金国家自然科学基金更多>>
相关领域：核科学技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇核科学技术

主题

  • 1篇多孔硅
  • 1篇形貌
  • 1篇阳极
  • 1篇阳极氧化
  • 1篇异丙醇
  • 1篇阵列
  • 1篇阵列结构
  • 1篇探测器
  • 1篇中子
  • 1篇中子探测
  • 1篇中子探测器
  • 1篇丙醇

机构

  • 1篇洛阳船舶材料...
  • 1篇四川大学
  • 1篇中国工程物理...

作者

  • 1篇黄宁康
  • 1篇展长勇
  • 1篇王春芬
  • 1篇范晓强
  • 1篇蒋勇
  • 1篇伍建春
  • 1篇邹宇

传媒

  • 1篇强激光与粒子...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多孔硅阵列结构的形貌研究被引量：7
2013年
采用电化学腐蚀方法分别在HF+异丙醇(IPA)和HF+IPA+十六烷基三甲基氯化铵(CATC)溶液中制备多孔硅结构阵列,分别讨论HF酸浓度、CTAC、刻蚀电流、刻蚀时间对多孔硅阵列的形貌的影响。结果表明:在质量分数40%HF,H2O,IPA的体积比为7∶4∶29时得到优化的多孔硅阵列;腐蚀电流密度越大,孔壁越薄;初始的腐蚀会向外扩展直到形成的孔径达近10μm,在窗口8μm、间距5μm的硅片上腐蚀的孔壁表面出现小孔。CTAC的加入会使孔壁上刻蚀出小孔,并随着CTAC的增加,小孔的孔径减小,数量增加。
范晓强蒋勇展长勇邹宇伍建春黄宁康王春芬
关键词：中子探测器形貌异丙醇阳极氧化
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