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国家高技术研究发展计划(2003AA303280)
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
相关机构:
深圳新南亚技术开发有限公司
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
一般工业技术
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真空与低温
年份
1篇
2007
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OVPD技术在OLED蒸镀装置中的应用
被引量:1
2007年
将OVP(D有机气相沉积)技术应用于OLE(D有机电致发光显示器件)蒸镀装置中,研制了一台实验设备,并通过实验验证了其可行性和可控性。该技术克服了常规点源蒸发所产生的有机材料利用率低、膜层均匀性差、不适合大基片镀膜等缺点,为OLED量产设备的研制奠定了基础。
姜翠宁
黄启耀
关键词:
有机电致发光显示器件
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