国家自然科学基金(50972085)
- 作品数：7 被引量：6H指数：2
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- 相关领域：理学电子电信自动化与计算机技术核科学技术更多>>
- 移动加热器法晶体生长工艺的研究进展
- 2017年
- 移动加热器法被认为是一种切实可行的生长大尺寸、高质量单晶体的方法,它结合了液相外延和区熔提纯的优点.本文阐述了移动加热器法晶体生长的基本原理、优缺点,综述了相关加热方式、晶体生长过程中的质量输运和热交换,并探讨了工艺条件(如重力场、磁场、强迫对流等和晶体生长速率)对移动加热器法生长晶体过程与晶体质量的影响,最后对移动加热器法的发展趋势进行了展望.
- 高笑刘俊成翟慎秋
- 关键词：移动加热器法生长速率
- 晶体生长炉籽晶杆高精度回转夹具结构
- 2013年
- 介绍了晶体生长炉籽晶杆高精度回转夹具的结构及工作原理,对现有的籽晶杆回转夹具进行了分析,从定位原理,不同直径大小籽晶杆的通用性及籽晶杆的径向跳动误差值大小等方面进行了详细分析,找出了定位长度短是影响夹具旋转精度的主要因素。设计并制作了一种由两个同轴安装的三爪卡盘组成的高精度回转夹具,由限制籽晶杆的两个自由度转变为限制籽晶杆的四个自由度,提高了定位精度,通过实验测定工作时的径向跳动,误差值大幅减小,提高了回转精度。
- 徐栋王友林张文
- 关键词：晶体生长
- 碲锌镉晶体制备方法被引量：2
- 2015年
- 碲锌镉晶体是由第ⅡA～ⅣB 族元素组成的化合物半导体晶体。以其具有优异室温核辐射探测与红外探测性能，受到了晶体研究者的重视，并且在室温核辐射探测、医学成像、空间探测等领域展开了实验性应用。本文简要回顾了碲锌镉晶体的发展历程，较为详细地描述了碲锌镉单晶体制备方法。
- 滕东晓刘俊成
- 关键词：碲锌镉
- 无线温度传感器设计被引量：1
- 2015年
- 为了测量晶体生长过程中旋转籽晶的结晶界面温度,针对旋转籽晶不便布线的问题,提出了用单片机和PT2262/2272无线发射/接收芯片与热电偶结合设计温度无线传感器的新方法。设计制作了一种无线温度传感器,经安装试用获得成功。较好地解决了旋转籽晶结晶界面温度检测问题。对晶体整个生长过程中结晶界面温度进行了实时检测、存储和记录。为分析晶体生长缺陷,进一步提高晶体生长质量提供了第一手资料。
- 孙稳稳宋德杰
- 关键词：PT2262/2272热电偶无线测温籽晶
- GaSb和GaInSb晶体制备工艺研究进展
- 2017年
- 介绍了GaSb单晶的制备方法,包括提拉(CZ)法、垂直布里奇曼(VB)法、水平布里奇曼(HB)法、垂直定向凝固(VDS)法和垂直梯度冷凝(VGF)法,总结了它们的优缺点。研究结果表明,VB法、VDS法和VGF法更适合GaSb单晶的生长。进一步介绍了三元合金GaInSb晶体生长工艺的研究进展,微重力环境可以有效抑制晶体中In元素的成分偏析,提高晶体的均匀性。简单介绍了GaSb单晶材料在器件制作方面的应用,展望了GaInSb晶体材料的发展前景。
- 王晋伟刘俊成
- 关键词：GASB晶体生长成分偏析
- 移动加热器法晶体生长的研究被引量：3
- 2011年
- 介绍了移动加热器法晶体生长的基本原理及其优缺点,报道了国内外最新研究进展,讨论了不同工艺参数,如磁场、加速坩埚旋转、重力、生长速度、温度等对THM生长晶体的影响,提出了提高THM生长晶体速度的设想,并就未来THM生长晶体的研究方法和发展趋势提出了自己的看法。
- 李其松刘俊成
- 关键词：晶体生长移动加热器法磁场
- 基于伺服电机的多波形旋转控制研究
- 2013年
- 在碲锌镉单晶体生长系统中,为了探讨碲锌镉晶体生长规律,要求坩埚在炉膛内有梯形波、三角波、方波、正弦波等多种旋转方式;为此,提出了利用交流伺服电机、双AT89S51单片机及D/A转换器等部件设计控制系统的想法;通过硬件设计,优化算法,软件编程实现了坩埚的多波形旋转控制;经过反复调试伺服控制器的PID 3个参数的数值,最后找到了实现无差、无延时跟踪的最佳PID控制参数,满足了设计要求。将它安装在晶体生长炉上,经过投料、试生产,长出了合格的碲锌镉单晶体。
- 宋德杰孙稳稳韩涛
- 关键词：单片机交流伺服电机伺服控制器
