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武器装备预研基金(9140C3102071002)
作品数:
1
被引量:5
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相关作者:
王勇
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2011
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无吸收模式滤波结构高亮度大功率宽条形半导体激光器
被引量:5
2011年
提升宽条形半导体激光器水平方向激射光输出的光束质量,改善宽条形半导体激光器的工作特性,一直是大功率、高亮度宽条形半导体激光器器件工艺研究的难点。基于激射光在无源波导内的衍射原理制备宽条形半导体激光器的模式滤波结构,利用AlxNy绝缘介质薄膜应力使基底半导体材料带隙变化的原理制备无吸收无源波导。将两者结合,设计制备了带有无吸收模式滤波器结构的宽条形半导体激光器,使器件平均最大输出功率提高49%,垂直发散角达20.6°,水平发散角达3.3,°3500 h老化实验,其千小时退化率小于0.085%。
乔忠良
薄报学
高欣
张斯钰
王玉霞
芦鹏
李辉
王勇
李特
李再金
曲轶
刘国军
关键词:
激光器
ALN
应力
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