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中央高校基本科研业务费专项资金(XDJK2011C044)

作品数：1 被引量：2H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇填充率
  • 1篇离子
  • 1篇开孔
  • 1篇集成光学
  • 1篇光学

机构

  • 1篇西南大学

作者

  • 1篇蒋小平
  • 1篇刘德森

传媒

  • 1篇光学学报

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
两种开孔的高填充率GRIN平面微透镜阵列离子扩散特性被引量：2
2013年
采用光刻离子交换法制作六角形孔径的高填充率梯度折射率(GRIN)平面微透镜阵列可有六角形和圆形两种开孔方式。通过设计两种孔径的六角形排列模板,采用光刻离子交换法并分时段取样,分别对形成高填充率GRIN平面微透镜阵列的两种开孔方式的离子扩散特性进行测试和分析,得到了这两种开孔方式在r方向和z方向的离子扩散和开孔表面凸起的特性,为制作不同孔径大小与开孔间距的高填充率GRIN平面微透镜阵列提供了工艺和理论参考。
蒋小平刘德森
关键词：集成光学填充率
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共1页<1>
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