中国人民解放军总装备部预研基金(5131204XXXX)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- 退火温度对Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47))O_3薄膜结构及其性能的影响被引量：1
- 2009年
- 采用sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对其晶格结构和微观形貌进行了表征,通过改变退火温度制得了具有单一钙钛矿结构的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜。然后将该薄膜与环氧树脂形成复合结构材料。对其铁电性能以及复合材料的阻尼性能进行了测试,结果表明,退火温度的升高有利于改善薄膜的铁电性能,在750℃下退火的Pb(Zr0.53Ti0.47)O3薄膜,其剩余极化值2Pr达到了68.6μC/cm2,矫顽场强2Ec达到158.7kV/cm;同时退火温度的升高还有利于薄膜致密度的提高,对复合材料的阻尼性能也有一定的改善,当退火温度达到800℃,复合材料的阻尼损耗因子达到最大值,阻尼温域最宽,阻尼性能最好。
- 毛薇秦岩黄志雄付承菊郭冬云
- 关键词：退火温度铁电性能阻尼性能
