北京市教育委员会科技发展计划面上项目(KM200810017009)
- 作品数：2 被引量：0H指数：0
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- 衬底温度对Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜结构及光学性能的影响
- 2010年
- 利用射频磁控溅射技术在不同温度的(100)Si和玻璃衬底上成功地制备了c轴择优取向的Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜。通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、紫外可见光分光光度计和光致发光谱研究了衬底温度对Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响,结果表明,在衬底温度为400℃时生长的Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜具有很好的c轴取向和较好的光学性能。用激发波长为300nm的氙灯作为激发光源得到不同衬底温度下Mg_(0.1)Zn_(0.9)O薄膜的室温PL谱。分析表明,紫外发光峰与薄膜的结晶质量密切相关,蓝光发射与氧空位有关。简单探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理。
- 郭瑞李东临王怡武光明邢光建
- 关键词：射频磁控溅射衬底温度
- 磁控溅射Mg_xZn_(1-x)O薄膜的结构与光学性能研究
- 2010年
- 利用射频磁控溅射技术在玻璃衬底上沉积了MgxZn1-xO(x=0～0.2)薄膜。采用X射线衍射仪、紫外-可见光分光光度计和荧光光谱仪研究了Mg掺杂量对MgxZn1-xO薄膜结构与光学性能的影响。XRD图谱表明,MgxZn1-xO薄膜均为六角纤锌矿结构,并且呈现出c轴择优生长特性,当x>0.1时薄膜出现(100)面衍射峰,薄膜的c轴择优生长特性减弱,随着x值的增加,晶格常数c逐渐减小。紫外可见光透射光谱表明,Mg的掺入提高了薄膜在可见光范围内的透过率,同时使薄膜的禁带宽度增大。PL谱分析显示,Mg的掺入使薄膜的紫外发射峰和蓝光发射带发生蓝移,当x=0.1时近带边发射峰与杂质发射的强度比值最高。
- 郭瑞李东临王怡武光明邢光建
- 关键词：射频磁控溅射透过率光致发光谱
