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吉林省科技厅科技发展计划项目(200705C01)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：刘成有张保平宁丹更多>>
相关机构：厦门大学通化师范学院更多>>
发文基金：吉林省科技厅科技发展计划项目更多>>
相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇性能评价
  • 1篇生长温度
  • 1篇结构特征
  • 1篇金属有机物
  • 1篇金属有机物化...
  • 1篇光学
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇通化师范学院
  • 1篇厦门大学

作者

  • 1篇宁丹
  • 1篇张保平
  • 1篇刘成有

传媒

  • 1篇红外与激光工...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
ZnO薄膜的结构特征及光学性能评价被引量：2
2008年
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法在Al2O3(0001)衬底上生长ZnO薄膜,通过改变衬底温度及生长舱压力,得到了各种不同表面形貌的ZnO薄膜。扫描电镜(SEM)用来对样品的形貌进行观察,当衬底温度及生长舱压力分别为400℃,40Pa和450℃,8Pa时,得到了纳米管及纳米墙结构。利用X射线衍射谱(XRD)、透射光谱及光致发光谱对样品的结构及光学性能进行评价。实验结果证明对于较高的生长温度和较低的生长舱压力所生长的样品具有较好的结晶质量。
宁丹张保平刘成有
关键词：金属有机物化学气相沉积ZNO薄膜生长温度
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