陕西理工学院科研基金(SLG0815)
- 作品数：1 被引量：5H指数：1
- 相关作者：郭颖潘峰文军陈长乐更多>>
- 相关机构：渭南师范学院陕西理工大学西北工业大学更多>>
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- 相关领域：理学更多>>
- 磁控溅射法生长ZnO薄膜的结构和表面形貌特性被引量：5
- 2010年
- 采用射频磁控溅射方法,在Si(111)和玻璃基片上制备ZnO薄膜。研究衬底温度和基片类型对薄膜结构、表面形貌的影响。结果显示,所有ZnO薄膜沿c轴择优生长,同种基片类型上生长的薄膜,随着衬底温度升高,(002)衍射峰强度和表面粗糙度增高;相同衬底温度下生长的ZnO薄膜,Si基片上制备的薄膜(002)衍射峰强度和表面粗糙度小于玻璃片上的。基片类型影响薄膜应力状态,玻璃片上制备的ZnO薄膜处于张应变状态,Si基片上的薄膜处于压应变状态;对于同种基片类型上生长的ZnO薄膜,衬底温度升高,应力减小。Si衬底上、300℃下沉积的薄膜颗粒尺寸分布呈正态。
- 潘峰郭颖陈长乐文军
- 关键词：ZNO薄膜衬底温度表面形貌
