深圳市科技计划项目(JC201104210094A)
- 作品数：1 被引量：1H指数：1
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- CoSb3热电薄膜的离子束溅射制备
- 热电材料是一种能够实现热能和电能直接相互转换的绿色环保型功能材料。近年来研究发现,热电材料薄膜化有助于热电材料减低热导率,从而能够有效的提高材料的热电转换效率,因此具有十分重要的科学研究价值。方钴矿结构的Co-Sb系化合...
- 范平郑壮豪梁广兴罗景庭张东平
- 文献传递
- 衬底温度对ZnO：Al薄膜热电性能影响的研究被引量：1
- 2013年
- 本文采用直流磁控溅射的方法在透明玻璃衬底上制备掺铝氧化锌(ZnO:Al,AZO)薄膜,系统研究不同衬底温度对AZO薄膜热电性能特性的影响。实验结果表明:所制备的薄膜均呈现出N型热电半导体特性。在所制备的样品中,当衬底温度为250℃时,薄膜样品的电导率具有最大值,为1.35×105 S/m,但该样品的塞贝克系数较小;当衬底温度达到400℃时,所制得的薄膜样品在测试温度为503 K时,塞贝克系数绝对值和功率因子达到最大,分别为96μV/K和7.2×10-4 W/mK2。不同衬底温度条件下沉积的AZO薄膜均呈现出六方纤锌矿结构,具有明显的c轴择优取向,随着衬底温度的增加,薄膜表面颗粒致密度增加,结晶情况改善。通过表面形貌和剖面分析可知:与其他薄膜样品相比,衬底温度为400℃时,薄膜样品出现更明显的柱状生长趋势,微结构的改变可能是使该薄膜样品热电性能改善的重要原因之一。
- 范平林清云李颖贞郑壮豪罗景庭张妙琴陈敏聪
- 关键词：掺铝氧化锌热电薄膜衬底温度热电性能
