国家高技术研究发展计划(2006AA042364)
- 作品数：4 被引量：12H指数：2
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- 硅基双轴谐振式微机械加速度计的设计与仿真
- 2007年
- 分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的硅基双轴谐振式微机械加速度计的结构形式。该结构采用一个质量块敏感两个正交方向的加速度,设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦,且结构稳定性好。用MATLAB软件分析了结构参数对性能指标的影响,用ISIGHT软件优化出结构参数,用ANSYS仿真软件对结构进行了静态分析和模态分析,验证了提出结构的设计思想和优化参数的可行性,设计了可实现的工艺流程。
- 任杰樊尚春
- 关键词：微机电系统微机械加速度计谐振器有限元分析
- 硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算被引量：5
- 2007年
- 分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的结构形式,进行了结构的优化设计和仿真计算.用MATLAB软件分析了结构参数对性能指标的影响,用ISIGHT优化软件优化出结构参数,用ANSYS仿真软件对结构进行了静态分析和模态分析,验证了所提出结构的设计思想和优化参数的可行性.
- 任杰樊尚春
- 关键词：微机电系统微机械加速度计谐振器
- 谐振式微加速度计杠杆机构的建模与优化
- 谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力。由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆的输入、输出端有约束存在,制约了杠杆的自由转动,使惯性力不...
- 任杰樊尚春郭占社
- 关键词：微机械加速度计优化设计
- 文献传递
- 谐振式微加速度计杠杆机构的建模与优化被引量：2
- 2007年
- 谐振式微机械加速度计的微尺寸质量块引起的惯性力很小,严重制约了加速度计灵敏度的提高,因此提出采用杠杆机构放大惯性力。由于硅基微杠杆机构的各部分均为刚性连接,且杠杆的输入、输出端有约束存在,制约了杠杆的自由转动,使惯性力不能高效放大。为此,设计了基于柔性支点的杠杆机构,建立了微杠杆机构的物理和数学模型,推导出杠杆机构各部分刚度的匹配原则。利用ISIGHT软件,采用遗传算法对结构参数进行了优化。
- 任杰樊尚春郭占社
- 关键词：微机械加速度计优化设计
- 谐振式微机械加速度计设计的关键技术被引量：6
- 2008年
- 谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。分析了谐振式微机械加速度计的工作机理,建立了第一级敏感结构、杠杆机构和第二级敏感结构的数学模型,指出了实现高灵敏度加速度测量的关键技术在于支撑梁、质量块、谐振器和杠杆机构的设计。提出了一种谐振式微机械加速度计结构,进行了结构的优化设计和仿真计算,得出的性能指标:谐振频率98858Hz,Q值673.9,灵敏度24.52Hz/gn。
- 任杰樊尚春王路达
- 关键词：微机电系统微机械加速度计谐振器
