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河北省自然科学基金(A200800565)
作品数:
1
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相关作者:
邹昊
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河北省自然科学基金
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2009
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碳涂层对硅基薄膜激光微等离子体光谱强度的影响
2009年
为了降低薄膜样品表面对激光的反射率,提高等离子体的辐射强度,改善谱线质量,提出了一种在薄膜表面涂覆碳层的方法,并研究了不同涂层厚度对等离子体谱线强度的影响.实验结果表明,薄膜表面涂覆碳层,可有效减少表面对激光束的反射,提高热耦合效率.当碳涂层厚度15μm左右时热耦合效率最高,激光等离子体的辐射强度明显增强.
冯强
张秋琳
邹昊
崔永亮
怀素芳
郭庆林
关键词:
硅基薄膜
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