广东省自然科学基金(9251009001000009)
- 作品数：8 被引量：22H指数：3
- 相关作者：阎秋生路家斌潘继生高伟强祝江停更多>>
- 相关机构：广东工业大学南昌航空大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金NSFC-广东联合基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺机械工程化学工程更多>>
- 电磁流变效应微磨头抛光加工电磁协同作用机理被引量：6
- 2010年
- 将磨料混入以Fe3O4为分散粒子的电磁流变液作为抛光液,在电磁场耦合作用下形成电磁流变效应微磨头对玻璃材料进行抛光加工试验,通过考察不同电磁场耦合条件下玻璃材料的去除量,揭示了电磁流变效应微磨头抛光规律,建立了分散粒子的力学模型,深入研究了电磁流变效应微磨头抛光的电磁协同作用机理.结果表明:励磁电压为5V、电场电压3kV时,电磁流变效应微磨头材料去除量达到电流变效应微磨头的1.74倍和磁流变效应微磨头的5.71倍,产生了显著的电磁流变协同效应;电磁流变液分散粒子所受的电场力、磁场力和洛伦兹力产生的自旋力偶的综合作用决定了电磁流变效应微磨头链串的稳定性及其加工性能,在适当的电场和磁场耦合状态下能获得良好的电磁流变协同效应.
- 路家斌阎秋生田虹高伟强
- 关键词：抛光力学模型
- 磁流变-化学机械复合抛光装置设计被引量：1
- 2012年
- 针对SiC晶片外延膜生长需达到原子级超光滑表面的要求以及加工效率低、表面精度差的问题,提出了一套磁流变-化学机械精密抛光装置,该装置利用软件平台对抛光盘和工件运动精确控制,并具有温度、转速等参数微调及显示功能。对装置的工作原理、结构进行了介绍,并在该装置上进行了工艺试验,取得较高的加工效率和光滑无损伤的加工表面。
- 祝江停阎秋生高伟强
- 关键词：化学机械抛光磁流变抛光复合抛光
- 一种电磁式集群磁流变电磁铁的结构设计及优化被引量：2
- 2012年
- 合理的磁路结构及均匀的磁场强度是影响磁流变抛光效果的关键因素,基于电磁铁的特性并结合实验室提出的集群磁流变技术,设计了一种电磁式集群磁流变电磁铁。详细分析了集群磁流变电磁铁的结构设计,通过Ansoft有限元仿真对磁指长度、集群点阵的结构、集群点阵的间隙和集群点阵的深度进行仿真及优化。优化结果显示:磁指长度l=26mm,磁场区域可以实现由线域到面域;集群点阵为方形下凹,磁极表面磁场强度较大;集群点阵间隙为1mm、深度为2mm时,磁极表面可以获得比较均匀的面域磁场。
- 童和平阎秋生潘继生
- 关键词：集群有限元仿真电磁铁磁极
- 磁流变效应微砂轮的磨粒半固着机理研究被引量：5
- 2010年
- 针对磁流变效应微砂轮抛光工艺,理论分析了磁流变效应磁链对磨粒的有效约束使磨粒处于半固着状态的机理。建立了磨粒受磁链约束的模型,研究了磁流变工作液中磨粒的种类、大小、形状和体积分数等特性对磨粒半固着状态以及所形成的磁流变效应微砂轮性能的影响。进行了磁流变效应微砂轮加工沟槽实验,分析了磨粒特性对材料去除率的影响,实验结果与理论分析相吻合,表明所建立的磁流变效应微砂轮磨粒半固着理论是正确的。
- 柴京富阎秋生张鹏程
- 关键词：磁流变效应磨粒
- 电磁流变效应微磨头加工的电磁耦合协同作用机理实验被引量：2
- 2012年
- 采用正交试验方法比较了锥形工具旋转和工作台旋转两种状态下的定点加工效果,实验研究了微磨头加工过程中的电磁耦合协同作用机理。在电磁耦合场中,固相粒子被极化形成电偶极子。当锥形工具旋转时,旋转的电偶极子由于洛伦兹力引起的自旋力偶的作用发生原位振动,对工件表面产生有规律的冲击,促进了材料去除,相对于工作台旋转模式其材料去除深度明显加大;但在电磁场较弱的微磨头外围,原位振动会对链串结构造成破坏,从而减小材料去除范围。电磁场耦合方式对电磁流变协同效应有很大影响,磁场励磁电压对材料去除的影响程度最大,其次是电场电压和旋转速度。在本文试验条件下,当锥形工具旋转且励磁电压较低(5V)时具有较好的电磁流变协同加工效果。
- 路家斌阎秋生潘继生高伟强
- SrTiO_3陶瓷基片集群磁流变研磨加工表面特性研究被引量：1
- 2013年
- 采用集群磁流变效应研磨加工工艺进行SrTiO3陶瓷基片研磨加工,分析了研磨盘材料、磨粒种类、研磨压力和磨粒团聚等因素对SrTiO3陶瓷基片表面粗糙度和表面完整性的影响。结果表明:磁流变效应研磨工作液中的SiC、Al2O3和CeO2等磨料的大尺寸磨粒在SrTiO3陶瓷基片研磨加工表面产生的局部大尺寸划痕破坏了加工表面的完整性;采用铸铁研磨盘和SiO2磨料的磁流变研磨工作液研磨加工后,原始表面粗糙度Ra从约1.7854μm下降到0.6282μm,并且表面完整,SrTiO3材料与SiO2磨料之间存在的化学机械研磨过程促进了研磨加工表面性能的改善;研磨压力也是影响研磨加工表面粗糙度和大尺寸划痕的主要因素之一,研磨压力取较小值(1.875kPa)为宜。
- 刘俊龙阎秋生路家斌潘继生
- 关键词：SRTIO3陶瓷划痕
- 隔离电极的电流变效应抛光装置及实验验证
- 2012年
- 对传统的电流变效应抛光装置,提出了一种新的隔离电极电流变效应发生方法,将高压电源的正负极通过绝缘材料与电流变液接触,解决了低介电常数的羰基铁粉、水等组成的电流变液无法形成稳定电流变效应的问题,扩大了电流变液的组分,提高了使用稳定性。利用该方法设计了电流变效应抛光加工实验装置,采用羰基铁粉为分散粒子、金刚石微粉为磨料、水和硅油分别为基液制备了两种电流变液,对玻璃工件进行了定点加工实验。实验结果表明:这两种电流变液在隔离电极电流变效应抛光装置中能形成良好的电流变效应,具有较好的加工效果,相比较而言,硅油基电流变液更适宜用于抛光加工。
- 路家斌阎秋生田虹
- 关键词：抛光装置
- 氮化铝基片的集群磁流变抛光加工被引量：6
- 2011年
- 本文进行了氮化铝基片的集群磁流变抛光加工研究,分析了主要工艺参数的影响和加工表面形貌特征。实验结果表明:集群磁流变抛光加工氮化铝基片可以实现高效率超光滑抛光,原始表面Ra1.730 2μm抛光60 min后可以达到Ra0.037 8μm。选用碳化硅磨料,磨料质量浓度为0.05 g/mL,工件与抛光盘转速比为5.8左右,加工初期采用较小加工间隙最后抛光采用较大加工间隙,可以获得较高的材料去除率和较光滑的加工表面。
- 白振伟阎秋生路家斌潘继生祝江停
- 关键词：抛光表面粗糙度
