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武器装备预研基金(51485030105JW0801)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：李以贵朱军贾书海孙潇更多>>
相关机构：西安交通大学上海交通大学更多>>
发文基金：武器装备预研基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”陕西省科技攻关计划更多>>
相关领域：机械工程更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇微电子
  • 1篇微电子机械
  • 1篇微电子机械系...
  • 1篇高深宽比
  • 1篇MEMS

机构

  • 1篇上海交通大学
  • 1篇西安交通大学

作者

  • 1篇孙潇
  • 1篇贾书海
  • 1篇朱军
  • 1篇李以贵

传媒

  • 1篇仪器仪表学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS微针研究被引量：3
2006年
MEMS微针是目前的一个研究热点,是实现无痛给药、抽血和生化检验集成化的关键。本文探讨了MEMS微针的研究进展,给出了MEMS微针的研究结果,讨论了MEMS微针在实际中应用还应解决的关键问题。
贾书海李以贵朱军孙潇
关键词：高深宽比
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共1页<1>
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