教育部重点实验室开放基金(56310202019)
- 作品数：3 被引量：16H指数：3
- 相关作者：袁巨龙文东辉张克华鲁聪达陶黎更多>>
- 相关机构：浙江工业大学浙江师范大学湖南大学更多>>
- 发文基金：教育部重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：金属学及工艺更多>>
- CVD金刚石薄膜表面抛光技术的研究被引量：3
- 2008年
- 对CVD金刚石膜的离子束铣削、电子束加工、激光加工、化学辅助机械抛光、热化学抛光等抛光技术的加工方法与原理进行了介绍,分析了这些方法的优点和不足之处。并展望了CVD金刚石薄膜抛光技术的发展方向。
- 张克华文东辉袁巨龙
- 关键词：化学气相沉积金刚石薄膜抛光
- 蓝宝石衬底双面研磨的材料去除机理研究被引量：9
- 2008年
- 对蓝宝石双面研磨加工进行了实验研究,借助SEM观察被加工工件表面,发现双面研磨加工的工件表面存有磨粒的二体、三体延性和磨损加工痕迹;建立了材料的理论去除模型并进行了计算,且与实验加工值进行了对比。结果表明,蓝宝石双面研磨中同时存在延性去除和脆性去除,该模型可以定性地描述双面研磨加工材料的去除率。
- 张克华文东辉鲁聪达袁巨龙
- 关键词：蓝宝石衬底双面研磨表面形貌
- 合金薄膜铜衬底抛光质量对薄膜表面结构的影响被引量：4
- 2007年
- 合金薄膜具有良好的导电性、抗磨损性质,已成为半导体产业的技术热点。铜做为合金薄膜衬底材料时,要求其有完美的表面。本文采用氧化铝微粉和金刚石抛光膏对合金薄膜铜衬底进行了机械研磨和抛光的实验研究,采用接触式粗糙度仪、AFM、台阶仪和光学显微镜对比分析了铜衬底表面粗糙度、表面均匀性和平面度的变化规律。初步探讨了铜衬底表面对Pd-Ni-P合金薄膜表面结构的影响,研究结果表明采用1μm平面度,Ra小于3 nm且抛光均匀性好的光滑铜衬底可以获得良好的合金薄膜。
- 张克华文东辉陶黎袁巨龙
- 关键词：合金薄膜研磨抛光
