您的位置： 专家智库 > >

国家重点基础研究发展计划(2006CB00403)

作品数：1 被引量：1H指数：1
相关作者：林梓鑫王跃林杨恒张颖焦继伟更多>>
相关机构：中国科学院更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇压阻
  • 1篇压阻检测
  • 1篇谐振
  • 1篇谐振特性

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇赵全斌
  • 1篇李铁
  • 1篇焦继伟
  • 1篇张颖
  • 1篇杨恒
  • 1篇王跃林
  • 1篇林梓鑫

传媒

  • 1篇传感技术学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
基于压阻检测的双端固支硅纳米梁谐振特性研究被引量：1
2006年
我们利用压阻检测法对双端固支硅纳米梁的谐振特性进行了研究.在(111)硅衬底上,用KOH选择性腐蚀制作出了厚度约为242nm的双端固支硅纳米梁;对梁上表面采用Ar离子进行局部轰击,受轰击侧的原子结构遭到破坏,电导率显著下降,未受轰击侧原子结构则保持原掺杂结构,在梁厚度方向形成非对称掺杂,表现出压阻特性.利用该局部压阻,我们首次完成了对双端固支硅纳米梁的谐振特性的测量,其共振频率为400kHz;同时,我们对获得的低Q值进行了初步讨论.
赵全斌焦继伟杨恒林梓鑫李铁张颖王跃林
关键词：压阻检测谐振特性
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0