山东省自然科学基金(ZR2009FM031)
- 作品数：5 被引量：21H指数：3
- 相关作者：王凤翔付刚李爽季艳菊李双更多>>
- 相关机构：山东建筑大学更多>>
- 发文基金：山东省自然科学基金山东省优秀中青年科学家科研奖励基金博士科研启动基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程更多>>
- 衬底及压强对磁控溅射ZnO薄膜表面形貌的影响被引量：6
- 2010年
- 在压强为0.5Pa和0.7Pa的情况下,采用磁控溅射法分别在Si及石英玻璃衬底上生长ZnO薄膜。利用原子力显微镜对ZnO薄膜的表面形貌进行观察,研究了压强及衬底对薄膜表面形貌的影响。研究表明:在Si衬底上生长的ZnO薄膜,压强为0.7Pa时比压强为0.5Pa时表面粗糙度要大;在相同溅射气压(0.7Pa)下,Si衬底上得到的ZnO薄膜质量明显优于石英玻璃衬底上的。
- 霍庆松张宁玉付刚李爽刘小村韩利新张玉华
- 关键词：ZNO薄膜磁控溅射原子力显微镜表面形貌
- 溅射气压对TiO_2薄膜结构性质的影响被引量：3
- 2012年
- 用射频磁控溅射技术在双面抛光的石英玻璃(SiO2)基底上沉积Er3+/Yb3+掺杂的TiO2薄膜,利用RBS背散射分析技术和X射线衍射技术研究溅射压强对薄膜结构性质的影响。结果表明:随着压强增加,成膜速率缓慢下降,且压强增大到一定数值之后对成膜速率的影响会逐渐减弱;随着压强增加,薄膜晶粒变大,晶粒间界变小,晶化质量提高。当溅射压强2.0Pa时,晶粒尺寸最大为64nm;适当降低溅射压强有利于提高薄膜的沉积速率,但是压强值也不能过小,否则会影响薄膜的晶粒尺寸大小,降低薄膜的结晶质量。
- 陈志华王凤翔宋红莲张秀全孙舒宁
- 关键词：TIO2薄膜溅射压强沉积速率晶粒尺寸
- 二维硅基三角形气孔光子晶体的带隙分析被引量：1
- 2010年
- 研究了以硅为背景介质周期性排列的等边三角形气孔构成的三角晶格二维光子晶体,把平面波展开法用于光子晶体能带结构的数值研究,分别改变等边三角形气孔边长、晶格常数和晶格基元旋转角度,研究带隙变化规律。研究结果表明:三角形气孔边长、晶格常数和晶格基元旋转角度的适当改变可以使光子晶体出现完全带隙,优化结构参数给出了一个完全带隙。
- 赵优美李双王凤翔秦希峰
- 关键词：光子晶体三角晶格平面波展开法完全带隙
- 射频磁控溅射制备ZnO光波导薄膜被引量：12
- 2010年
- 采用射频磁控溅射技术在石英玻璃上制备出了具有高度c轴择优取向的ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)、背散射分析(RBS)、棱镜耦合等技术对其结构、光波导性质进行研究,结果表明减小溅射压强有利于提高薄膜的结晶质量,增强薄膜的c轴择优取向。溅射压强越小,薄膜越厚,薄膜的有效折射率越接近晶体材料的折射率。
- 李爽王凤翔付刚季艳菊赵俊卿
- 关键词：ZNO薄膜射频磁控溅射X射线衍射
- 铒离子注入碳化硅的射程和退火行为研究被引量：2
- 2011年
- 用300—500keV能量的铒(Er)离子注入碳化硅(6H-SiC)晶体中,利用卢瑟福背散射技术研究了剂量为5×1015cm-2的Er离子注入6H-SiC晶体的平均投影射程Rp和射程离散ΔRp,将测出的实验值和TRIM软件得到的理论模拟值进行了比较,发现Rp的实验值与理论值符合较好,ΔRp的实验值和理论值差别大一些.结果表明,注入剂量一定时,注入能量越高,晶格损伤程度越高.1400℃的高温退火,可以实现6H-SiC的完美再晶化,但伴随着产生了Er原子向表面的外逸出.
- 秦希峰梁毅王凤翔李双付刚季艳菊
- 关键词：离子注入退火行为
