江苏省普通高校研究生科研创新计划项目(CXZZ110340)
- 作品数：4 被引量：7H指数：2
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- 发文基金：江苏省普通高校研究生科研创新计划项目国家自然科学基金江苏省自然科学基金更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术更多>>
- 基于振荡检测法的延迟线型声表面波气体传感器特性
- 2015年
- 研究延迟线型声表面波(SAW)气体传感器的信号传输损耗和相位变化,考察了振荡检测法中相移电路和滤波电路对传感器性能的影响。基于延迟线型SAW气体传感器简化数学模型和频率特性测试,探讨叉指电极(IDTs)对传感器性能和传输过程中信号相位幅值变化量的影响。利用不同阶低通滤波器的性质和相移电路频率特性曲线研究振荡电路对延迟线型SAW传感器振荡频率、灵敏度和稳定性的影响机制。结果表明:延迟线型SAW传感器插入损耗和信号带宽反比叉指对数;传输过程中信号相位变化受振荡频率、波速和中心距共同影响;滤波器幅频特性随滤波电路阶次降低而变好,同时传感器灵敏度提高。
- 杨柳殷晨波朱斌张子立
- 关键词：简化模型叉指电极振荡电路
- 基于SnO_2薄膜气体传感器的设计与制作(英文)
- 2012年
- 设计了一种带硅岛结构的基于SnO2薄膜材料的共面式气体传感器.利用有限元工具对传感器进行了稳态热分析,分析结果表明这种传感器在33.84 mW的功耗下最高温度达到400℃,气敏薄膜上温度分布均匀.详细阐述了传感器的制作过程,过程中总共使用4块掩模版用于光刻工艺.采用溶胶-凝胶法制备了SnO2纳米薄膜作为传感器的气敏元件.对传感器进行了气敏测试,实验结果表明该传感器拥有良好的气敏性能,在300℃下对50×10-6到2 000×10-6氢气的灵敏度逐渐递增,反应时间可控制在10 s以内.
- 张子立殷晨波朱斌陶春旻
- 关键词：气体传感器温度分布气敏特性
- 基于MEMS工艺微气体传感器结构与工艺设计被引量：3
- 2012年
- 针对传统堆积式硅基微气体传感器制造工艺复杂的缺点,设计一种将Pt电极制成一层的共面式微气体传感器,利用有限元软件ANSYS对传感器的热性能进行了分析。结果表明:共面式微传感器的气敏薄膜表面工作区域的温度差在功耗为15 mW时约为7℃,且当功耗为13 mW时传感器温度便可达300℃。根据MEMS工艺设计了一套制造该结构传感器的工艺。该工艺可以与溶胶-凝胶法制膜工艺相兼容,且整个工艺只用到3块掩膜版,从而降低了工艺复杂程度,提高了产品成品率。
- 张子立殷晨波朱斌陶春旻
- 关键词：结构优化热性能
- 基于振荡检测法的延迟线型SAW气体传感器特性
- 研究延迟线型声表面波(SAW)气体传感器的信号传输损耗和相位变化,振荡检测法中相移和滤波电路对传感器性能的影响。依据迟线型SAW气体传感器简化数学模型探讨叉指电极(IDTs)对于传感器性能和传输过程中信号相位幅值变化量的...
- 杨柳殷晨波朱斌张子立
- 关键词：简化模型叉指电极振荡电路
- 文献传递
- 一种基于自适应温度调制模式的金属氧化物气体传感器被引量：4
- 2013年
- 通过分析温度对金属氧化物气体传感器性能影响的过程,提出一种自适应温度调制模式的传感器气敏性能研究方法,着重阐述自适应温度调制模式的工作原理,设计以气敏单元电阻值为反馈信号的传感器闭环控制加热电路,借助于电路模拟方法,获取在不同气体下传感器温度响应曲线。结果表明:在相同的计数长度k和不同气体组分下,温度响应曲线各不相同。以H2为例,传感器的温度范围为140～220℃,传感器温度变化周期为800 ms,其中上升时间长度为300ms,下降时间长度为500 ms,为定性分析气体种类和定量分析气体浓度提供了大量的传感器响应信息。
- 朱斌殷晨波张子立杨柳
- 关键词：温度调制热分析电路模拟
