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陕西省自然科学基金(2007F16)

作品数：1 被引量：2H指数：1
相关作者：于海萍朱冠芳郑新亮罗惠霞姚合宝更多>>
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相关领域：理学更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇光致
  • 1篇光致发光
  • 1篇发光
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇西北大学

作者

  • 1篇姚合宝
  • 1篇罗惠霞
  • 1篇郑新亮
  • 1篇朱冠芳
  • 1篇于海萍

传媒

  • 1篇西北大学学报...

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
衬底温度对ZnO薄膜的结构和发光性能的影响被引量：2
2008年
目的研究衬底温度对ZnO薄膜结构和发光性能的影响及薄膜结构与发光性能两者之间的关系。方法在玻璃衬底上采用射频磁控溅射法,固定其他工艺参数、改变衬底温度制备ZnO薄膜。对薄膜进行XRD谱和室温光致发光(PL)谱研究。结果衬底温度在25℃到250℃之间,随着温度的升高,结晶质量变好,且紫外发光相对明显增强。在衬底温度为250℃时,结晶质量和发光性能均达到最优化。继续升高衬底温度,结晶质量和发光性能都下降。结论衬底温度对ZnO薄膜的制备有着重要的影响;薄膜发光性能与结晶质量密切相关,结晶质量越好,紫外发光相对强度越大。
朱冠芳姚合宝郑新亮罗惠霞于海萍
关键词：ZNO薄膜衬底温度光致发光
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