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中国博士后科学基金(20090461332)

作品数：1 被引量：4H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇势垒
  • 1篇势垒层
  • 1篇光电
  • 1篇光电流
  • 1篇暗电流
  • 1篇MSM

机构

  • 1篇电子科技大学

作者

  • 1篇苏元捷
  • 1篇蒋亚东
  • 1篇赵国栋
  • 1篇吴志明

传媒

  • 1篇光电子．激光

年份

  • 1篇2011
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
势垒层对黑硅光电探测器性能影响的研究被引量：4
2011年
讨论势垒层Si3N4的引入对黑硅光电探测器光电性能的影响。探测器采用金属-半导体-金属(MSM)器件结构在黑硅层和电极间增加一层势垒层以提高肖特基势垒,从而减低器件的暗电流。实验表明,在相同的光照情况下,有势垒层的探测器暗电流比无势垒层的探测器暗电流至少低1个数量级,且势垒层厚度增加30nm其暗电流降低约1个数量级,而光电流无明显改变。结果表明,沉积势垒层可有效地降低黑硅MSM探测器的噪声电流,提高信噪比(SNR)。
苏元捷蒋亚东吴志明赵国栋
关键词：势垒层暗电流光电流
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