国家自然科学基金(10775096)
- 作品数:4 被引量:10H指数:3
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- 相关机构:上海大学上海西域机电系统有限公司更多>>
- 发文基金:上海市教育委员会重点学科基金国家自然科学基金中国博士后科学基金更多>>
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- 非晶硅薄膜上碘化汞多晶薄膜的生长及其性能被引量:5
- 2008年
- 采用改进后的带有真空活塞的热壁物理气相沉积装置在非晶硅薄膜上制备HgI2多晶薄膜,使薄膜生长的操作过程更加简单安全。用边抽真空边生长薄膜的方式,可以获得较大的生长速率。通过改变不同的沉积参数,对获得的薄膜,采用XRD、SEMI、-V特性以及电容频率特性等手段对其进行表征,结果表明,获得了沿〈001〉晶向柱状生长且晶粒大小均匀、电阻率为2.5×1011Ω.cm、相对介电常数为5.53的薄膜。
- 郑耀明史伟民魏光普秦娟徐环
- 关键词:多晶非晶硅物理气相沉积
- SnO_2纳米柱状阵列的微波水热法合成及表征被引量:3
- 2012年
- 采用微波水热法,在ITO导电基底上合成出了SnO2纳米柱状阵列。经过扫描电子显微镜、X射线衍射表征发现微波水热法合成得到的SnO2纳米柱状阵列,其高度约为400 nm,组成阵列的柱状结构直径约为100nm。通过紫外漫反射光谱测试得出SnO2纳米柱状阵列的禁带宽度为3.25 eV,光致发光光谱显示在390nm、405nm和425nm处分别存在较强发射峰。
- 杨伟光王亚丽史伟民
- 关键词:SNO2微波水热光致发光光谱
- 超声物理气相沉积法制备(00l)取向HgI_2膜的研究被引量:3
- 2011年
- 超声波作用下,采用热壁物理气相沉积法在相对较低温度下(<90℃)成功制备了(00l)取向多晶碘化汞膜,分析了超声工艺对(00l)取向多晶碘化汞膜质量的影响.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱仪(Raman)对(00l)取向多晶碘化汞膜进行了表征.结果表明,超声波作用下,相对较低的生长温度能够获得高质量(00l)取向多晶碘化汞膜,同时超声波工艺不仅能够明显改善多晶碘化汞厚膜的质量而且能提高生长速率.
- 苏青峰史伟民王林军李东敏夏义本
- 关键词:多晶物理气相沉积超声波
- 纳米TiO_2复合分级球的制备及其形成机理研究被引量:1
- 2012年
- 采用二甘醇为鳌合剂和反应液制备钛的醇酸盐前驱体球,然后180℃水热处理得到高度晶化的复合分级结构的TiO2球。用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、傅里叶转换红外光谱仪(FT-IR)以及同步热分析仪(TGA-DSC)对样品进行表征,并探讨了TiO2复合分级球的形成机理。
- 杨伟光王亚丽史伟民
- 关键词:TIO2水热处理