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中国工程物理研究院科技基金(200120301)

作品数：1 被引量：16H指数：1
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇电偶
  • 1篇切削温度
  • 1篇热电偶
  • 1篇温度传感器
  • 1篇离子镀
  • 1篇溅射
  • 1篇感器
  • 1篇薄膜热电偶
  • 1篇传感
  • 1篇传感器
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇大连理工大学

作者

  • 1篇徐静
  • 1篇孙宝元
  • 1篇崔云先
  • 1篇邓新禄
  • 1篇贾颖
  • 1篇曾其勇
  • 1篇徐军

传媒

  • 1篇机械工程学报

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制被引量：16
2006年
针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr／NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR等离子体源增强射频反应非平衡磁控溅射技术首次成功在W18Cr4V高速钢基底上沉积绝缘性能良好的SiO2膜。对研制的薄膜热电偶温度传感器进行了静态和动态标定,结果表明传感器在0- 600℃测温范围内具有很好的线性和热稳定性,而且响应快,时间常数小于0．8 ms。热电偶薄膜与绝缘膜、绝缘膜与基体之间有足够的附着强度。该温度传感器已安装在现场使用,为国防工业部门的高效、安全生产提供了有力的保障。
曾其勇孙宝元徐静贾颖崔云先邓新禄徐军
关键词：薄膜热电偶切削温度磁控溅射离子镀
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