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国家高技术研究发展计划(2003AA404220)

作品数：1 被引量：3H指数：1
相关作者：姜力王嘉力刘宏高晓辉更多>>
相关机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇应变计
  • 1篇力传感器
  • 1篇感器
  • 1篇MEMS
  • 1篇传感
  • 1篇传感器

机构

  • 1篇哈尔滨工业大...

作者

  • 1篇高晓辉
  • 1篇刘宏
  • 1篇王嘉力
  • 1篇姜力

传媒

  • 1篇微细加工技术

年份

  • 1篇2006
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
基于MEMS的力传感器薄膜应变计加工工艺被引量：3
2006年
提出了在铝合金基体上磁控溅射80Ni20Cr薄膜电阻应变计的加工工艺,说明了其工艺的实现步骤。采用低弹性模量的铝合金制作力传感器的弹性体可以提高力/力矩传感器的灵敏度。提出了一种适合MEMS加工的全平面的力/力矩传感器弹性体结构。并介绍了薄膜电阻应变计构成的微型六维力传感器和薄膜厚度的测量手段。通过实验证实,此种薄膜工艺的应用提高了力传感器的测量精度。
王嘉力高晓辉姜力刘宏
关键词：应变计力传感器MEMS
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