您的位置： 专家智库 > >

国家高技术研究发展计划(2003AA404210)

作品数：2 被引量：4H指数：1
相关作者：陈文元姜勇李胜勇张卫平倪志萍更多>>
相关机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇一体化
  • 1篇套刻
  • 1篇子层
  • 1篇SU-8胶
  • 1篇MEMS
  • 1篇表面活化

机构

  • 2篇上海交通大学

作者

  • 2篇姜勇
  • 2篇陈文元
  • 1篇丁桂甫
  • 1篇张卫平
  • 1篇赵小林
  • 1篇王志民
  • 1篇倪志萍
  • 1篇李胜勇

传媒

  • 1篇新技术新工艺
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇2005
共 2 条 记 录，以下是 1-2
全选 清除 导出
排序方式：
微机械密码锁鉴码机构的UQS机理研究及其工艺实现被引量：3
2005年
姜勇陈文元张卫平李胜勇微机械密码锁是一种用于重要场合的安全保险装置,其鉴码机构的设计基于UQS技术。从UQS的概念出发,研究了UQS的特性,得到了一个可行的编码算法。根据生成的编码,使用MEMS加工技术,“一体化”加工完成了基于UQS技术的齿轮鉴码机构。此齿轮鉴码机构对微机械密码锁的推广应用具有重要的意义。
姜勇陈文元张卫平李胜勇
关键词：MEMS
多层复杂结构准LIGA一体化加工工艺的研究被引量：1
2005年
准LIGA加工工艺通常只能加工单层准三维体。本研究采用SU 8胶准LIGA技术,解决了多层套刻、种子层和表面活化等技术难题,加工出了三维五层一体化复杂结构。实践证明,所提出的工艺实际可行,进一步拓展了准LIGA工艺的应用。
姜勇陈文元赵小林丁桂甫倪志萍王志民
关键词：SU-8胶套刻表面活化
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0