国家自然科学基金(50775090)
- 作品数：8 被引量：14H指数：2
- 相关作者：刘世元谢勇君史铁林沈宏伟张传维更多>>
- 相关机构：华中科技大学暨南大学武汉光电国家实验室(筹)更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程理学电子电信金属学及工艺更多>>
- 基于修正等效介质理论的微纳深沟槽结构反射率快速算法研究被引量：2
- 2008年
- 利用等效介质理论和严格耦合波理论研究比较微纳米级高深宽比深沟槽结构的红外反射谱,提出一种对等效折射率加入色散修正项的深沟槽结构反射率快速算法.通过超越色散方程分析和大量计算发现,加入的等效折射率色散修正项与波长的平方成反比,并且与深沟槽结构的材料、周期和占空比有关.这种新的计算方法可以非常精确地获得高深宽比深沟槽结构的反射率,而且明显提高了运算速度,在复杂深沟槽结构基于模型的红外反射谱测量中具有重要的应用价值,可以应用于微电子和微机电系统制造过程中高深宽比微纳深沟槽结构刻蚀进度的在线实时监测.
- 刘世元顾华勇张传维沈宏伟
- 关键词：严格耦合波理论反射率
- 基于傅里叶变换红外反射谱的DRAM深沟槽结构测量系统研究被引量：2
- 2009年
- 提出了一种基于傅里叶变换红外(FTIR)反射谱的动态随机存储器(DRAM)深沟槽结构测量方法与系统。给出了测量原理与方法,设计了测量系统光路。通过可变光阑调节探测光斑大小并选择合适的入射角,消除了背面杂散光反射干扰的影响,大大提高了信噪比。对DRAM深沟槽样品进行反射光谱图测试与实验研究,表明所述方法与系统能够提取出纳米级精度的深沟槽参数。该技术提供了一种无接触、非破坏、快速、低成本和高精度的深沟槽结构测量新途径,在集成电路制造过程中的在线监测与工艺控制方面具有广阔的应用前景。
- 刘世元张传维沈宏伟顾华勇
- 关键词：动态随机存储器
- 微/纳结构三维形貌高精度测试系统被引量：4
- 2010年
- 为实现微/纳结构三维形貌的高精度测量,提出利用显微干涉技术和偏振技术相结合的方法来研制微/纳结构三维形貌亚纳米级精度测试系统。首先,利用五步相移干涉技术采集5幅带有π/2相移增量的干涉条纹图。然后,通过Hariharan五步相移算法得到包裹相位图。最后,利用分割线相位去包裹算法和相位高度关系转换得到微/纳结构三维形貌。在测试过程中通过偏振片产生强度可调的线偏振光,再由1/2波片改变偏振光在分光镜中的分光比,补偿参考镜与试件的反射性能差异,可得到亮度适中且对比度高的干涉条纹图,从而有利于实现微/纳结构三维形貌的高精度测量。系统的轮廓算术平均偏差Ra的重复测量精度可达0.06nm,最大示值误差不到±1%,示值变动性不到0.5%。通过对标准多刻线样板、硅微麦克风膜和硅微陀螺仪折叠梁的三维形貌测量验证了系统的有效性和实用性。
- 谢勇君史铁林刘世元
- 关键词：显微干涉三维形貌
- 机器微视觉在MEMS微结构平面运动测量中的应用
- 测量MEMS微结构的运动特性对于MEMS器件的设计与优化具有重要指导意义。利用机器微视觉技术构建了平面运动测试系统,可采集MEMS微结构运动周期内不同相位的一系列视觉图像。提出了一种改进的快速亚像素模板匹配方法,该方法首...
- 谢勇君
- 关键词：MEMS微结构
- 文献传递
- Metrology of deep trench structures in DRAM using FTIR reflectance spectrum
- The demand for advanced DRAM technologies with smaller ground rules lead to new challenges for online metrolog...
- Chuanwei ZHANG~a
- Metrology of deep trench structures in DRAM using FTIR reflectance spectrum
- ＜正＞The demand for advanced DRAM technologies with smaller ground rules lead to new challenges for online metro...
- Chuanwei ZHANG~a
- 关键词：DRAMMETROLOGY
- 基于条纹图的微结构离面运动特性测量
- 2010年
- 为了测量微结构离面（Out—of—plane）运动特性，利用频闪显微干涉技术设计研制了微结构离面运动测试系统，首先采集微结构运动周期内不同时刻的一系列干涉条纹图，并通过SUSAN滤波算法对各干涉条纹图进行降噪处理，再利用5步相移算法从干涉条纹图中提取被测微结构的相位信息得到包裹相位的锯齿型条纹图，并采用质量导向图法进行去包裹处理，最后根据相位高度关系式可得到被测微结构运动周期内不同时刻的形貌图及其离面运动曲线。通过实验对正弦基础激励下硅微悬臂梁的离面振动响应进行了有效测量，且测量重复性小于10nm。
- 谢勇君史铁林刘世元
- 关键词：微结构
- Focusing and leveling system for optical lithography using linear CCD
- ＜正＞This paper proposes a focusing and leveling technique for optical lithography tools using linear CCD and im...
- Tao HUANG~a
- 关键词：LITHOGRAPHY
- 文献传递
- 基于协调同步控制的MEMS微运动测量被引量：4
- 2010年
- 为协调有效地利用频闪成像、显微视觉和相移干涉技术实现微机电系统(MEMS,micro-electro-me-chanical systems)微运动的可靠测量,提出了一种改进的协调同步控制方法,该方法通过2块5 MHz频率的任意波形发生卡实现激光二极管(LD,laser diode)脉冲信号和MEMS激励信号的同频率相对延时,最小延时增量可达0.3 ns,最小脉冲宽度可达10 ns。基于该方法构建的测试系统可实现MEMS的离面(out-of-plane)和面内(in-plane)微运动的自动测量。通过对硅微悬臂梁离面振动以及硅微谐振器阵列面内振动的实验测量验证了新协调同步控制方法的有效性和实用性,其中离面微运动测量重复性误差小于10 nm,面内微运动测量重复性误差小于25 nm。
- 谢勇君史铁林刘世元
- 关键词：MEMS
- 一种环境可控的MEMS微结构离面动态变形测试系统被引量：1
- 2010年
- 利用Linnik显微干涉技术和环境控制技术,研制了一套环境可控的微机电系统(MEMS)微结构离面动态变形测试系统,该系统可测量不同温度、不同压力下MEMS微结构的离面动态变形情况。测试系统的环境控制装置可提供0～300℃的温度变化和0.1～0.6MPa的压力变化。利用测试系统对不同压力下绝压型硅微压力传感器膜的动态变形以及不同温度下微电路板的变形形貌进行了测量,其中绝压型硅微压力传感器膜变形量的测量重复性误差小于20nm。
- 谢勇君史铁林刘世元吴健康
- 关键词：MEMS微结构环境控制显微干涉
