国家自然科学基金(50575001)
- 作品数：3 被引量：2H指数：1
- 相关作者：闫桂珍杨振川吕博王晓宁崔健更多>>
- 相关机构：北京大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：航空宇航科学技术理学电子电信更多>>
- CMOS-MEMS体硅集成陀螺的系统仿真
- 2008年
- 体硅MEMS和CMOS电路的单片集成技术是提高传感器性能的有效途径,但是集成技术会对陀螺的设计和CMOS电路的设计提出更高的要求。通过建立CMOS-MEMS体硅陀螺的等效电学模型,实现了对CMOS-MEMS体硅陀螺的系统级仿真。通过系统仿真,陀螺的结构部分、电路部分、集成产生的寄生效应以及工艺误差得到了有效的分析,从而能够了解它们相互之间的影响,更好的指导CMOS-MEMS体硅集成器件的设计。
- 王佳钱梁杨振川闫桂珍
- 关键词：系统仿真
- 甘油加入BHF溶液作为牺牲层腐蚀方法的研究(英文)被引量：1
- 2008年
- 提出了一种改进后的缓冲氢氟酸溶液,成分配比为4份40%氟化铵溶液、1份40%氢氟酸和2份甘油.通过在牺牲层腐蚀过程中对腐蚀液加热和搅拌提高了其对氧化硅和铝的选择比,测定了氧化硅和铝的腐蚀速率随腐蚀液温度变化的关系,确定了这种腐蚀液的最优工作条件,研究了加入甘油对腐蚀液腐蚀效果的影响,并在实际器件加工过程中测试了这种方法.
- 王晓宁杨振川闫桂珍
- 关键词：牺牲层腐蚀甘油
- 一种用有限元工具仿真水平轴微陀螺解耦性能的方法被引量：1
- 2008年
- 提出了一种用有限元工具ANSYSTM的谐响应分析功能仿真陀螺在模态频率下位移的方法。利用这种方法,仿真得到了陀螺模态间的机械耦合,并通过测试对仿真结果进行了验证。这种方法还能仿真由于工艺误差造成的结构不对称性对陀螺性能的影响,并证明了双解耦性能有利于抑制这种不对称带来的误差。
- 吕博刘雪松崔健杨振川闫桂珍
- 关键词：微陀螺谐响应分析
