陕西省教育厅产业化培育项目(03JC28)
- 作品数：3 被引量：5H指数：2
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- 相关领域：理学更多>>
- 膜料吸收系数对光学膜厚宽带监控的影响被引量：2
- 2005年
- 光学镀膜宽带监控的判停依靠测量曲线和理论曲线的吻合程度来进行,这要求对理论曲线进行符合薄膜镀制实际的修正。在介绍光学镀膜宽带监控技术的原理及现状的基础上,针对由于材料的吸收而产生的测量曲线和理论曲线的严重背离,提出了一种逐层修正的方法。试验结果表明,其效果良好,完全可以满足实际镀膜的需要。
- 韩军孔英秀尚小燕安毓英
- 关键词：镀膜
- 宽带膜厚实时监控过程中膜层折射率的确定方法被引量：1
- 2006年
- 为了准确计算出镀膜过程中每层膜的折射率,介绍了实时监控过程中确定膜层折射率的2种方法：一种是由实测的透射比光谱直接反算出膜层的折射率;另一种是用最小二乘法的优化算法实时拟合折射率。试验结果表明：在线反算适合单点监控,所得折射率误差小于2%。然而在实际镀膜过程中,由于宽带内膜层参数误差较大,一般大于25%。为此,采用最小二乘法拟合,即在整个宽光谱范围内采集每个波长点的信息,所得结果误差很小,一般都在2%～5%之间,有时可达到10%,在很大程度上提高了实际镀膜时膜厚监控的精度。
- 孔英秀韩军尚小燕
- 关键词：膜厚监控最小二乘法
- 薄膜厚度宽带监控中评价函数的修正被引量：2
- 2004年
- 在镀膜过程中,采用宽光谱实时监控薄膜厚度的方法,评价函数的准确计算关系到薄膜厚度的最终监控结果.而薄膜材料的吸收会引起评价函数的失真.本文采用软件的方法,在镀下一层之前,对其评价函数中的理论透射比作以修正,消除已镀层吸收对其的影响,由此逐层进行直至结束.实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-3以下,效果良好,完全可以满足实际需要.
- 韩军尚小燕曹春
- 关键词：宽光谱评价函数
